強大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換

光機電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速，結果實時更新

縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理

自主設定測量閾值，三維處理自動標注

測量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設置，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀

個性化軟件應用支持

可進行軟件在線升級和遠程支持服務

10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical

Instrument）

光學測量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務。

輪廓儀的核心團隊

夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經驗

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設備

唐壽鴻博士，國家千人特聘專家

25年 ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經驗

KLA-Tencor 資 深研發(fā)總監(jiān)，世界 級圖像處理、算法專家

許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical

Instrument）

光學測量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與專家組為您提供輪廓儀的技術支持，為您排憂解難。 輪廓測量儀輪廓儀高性價比選擇輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便  

NanoX-系列輪廓儀代 表性客戶

? 集成電路相關產業(yè)

– 集成電路先進封裝和材料：華天科技，通富微電子，江蘇納佩斯

半導體，華潤安盛等

? MEMS相關產業(yè)

– 中科院蘇州納米所，中科電子46所，華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關產業(yè)

– 常州億晶光電，臺 灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子、FPD、PCB等產業(yè)

– 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運動速度 最快

如果有什么問題，請聯(lián)系我們。

配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動識別產品信息。

輪廓儀在集成電路的應用

封裝bump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界唯 一的能夠實現(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，大 大地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

歡迎咨詢。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um，重復精度 1um。重慶輪廓儀

一般三坐標精度都在2-3um左右。輪廓儀國內用戶

輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人核心器件、航空航天材料、國防軍工設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù)，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 輪廓儀國內用戶

岱美儀器技術服務（上海）有限公司擁有磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】等多項業(yè)務，主營業(yè)務涵蓋磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發(fā)。一批專業(yè)的技術團隊，是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力。公司以誠信為本，業(yè)務領域涵蓋磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發(fā)，我們本著對客戶負責，對員工負責，更是對公司發(fā)展負責的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務，我們相信誠實正直、開拓進取地為公司發(fā)展做正確的事情，將為公司和個人帶來共同的利益和進步。經過幾年的發(fā)展，已成為磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發(fā)行業(yè)出名企業(yè)。