納米壓印光刻（NIL）技術
EVG是納米壓印光刻（NIL）設備和集成工藝的市場**供應商。EVG從19年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并實現(xiàn)了從2英寸化合物半導體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn)。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的**有前途且相當有成本效益的工藝，可用于生物MEMS，微流體，電子學以及**近各種衍射光學元件的各種商業(yè)應用。
其中EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)型號包含：
EVG®610
EVG®620NT
EVG®6200NT
EVG®720
EVG®7200
EVG®7200LA
HERCULES®NIL
EVG®770
IQAligner®
熱壓納米壓抑系統(tǒng)型號包含：
EVG®510HE
EVG®520HE
詳細的參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美有限公司。
EVG ? 7200是自動SmartNIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。MEMS納米壓印高性價比選擇
關于WaveOptics
WaveOptics是衍射波導的全球**設計商和制造商，衍射波導是可穿戴AR設備中的關鍵光學組件。
諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實世界之上的數(shù)字圖像。有兩個關鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源，以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式。
WaveOptics的波導技術可傳輸來自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中。該技術可產(chǎn)生大的眼框，雙目觀察和高視野。眼圖框（查看窗口）是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請參見下圖。WaveOptics的波導提供清晰，無失真的文本以及穩(wěn)定的圖像。
WaveOptics技術旨在用于工業(yè)，企業(yè)和消費者市場的沉浸式AR體驗。該公司的目標是，憑借其獨特的技術和專業(yè)知識，其波導將成為所有AR可穿戴設備中使用的he心光學組件，以實現(xiàn)****的制造可擴展性和視覺性能，并為眾多應用提供多功能性。 EVG620NT納米壓印美元報價EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng)，大面積壓印機，微透鏡成型設備以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。
EVG ® 6200 NT是SmartNIL
UV納米壓印光刻系統(tǒng)。
用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術范圍達150m。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱，以**小的占地面積提供了**
新的掩模對準技術。操作員友好型軟件，**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻。此外，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。
SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術，可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結(jié)合，可實現(xiàn)****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術。
注：*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EVG ? 7200 LA是大面積SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。
EVG ® 520 HE特征：
用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應用
自動化壓花工藝
EVG專有的**對準工藝，用于光學對準的壓印和壓印
氣動壓花選項
軟件控制的流程執(zhí)行
EVG ® 520 HE技術數(shù)據(jù)
加熱器尺寸：150毫米，200毫米
比較大基板尺寸：150毫米，200毫米
**小基板尺寸：單芯片，100毫米
比較大接觸力：10、20、60、100 kN
比較高溫度：標準：350°C；可選：550°C
粘合卡盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)
150毫米加熱器：EVG ® 610，EVG ® 620，EVG ® 6200
200毫米加熱器：EVG ® 6200，MBA300，的Smart View ® NT
真空：
標準：0.1毫巴
可選：0.00001 mbar SmartNIL技術可提供功能強大的下一代光刻技術，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。甘肅納米壓印圖像傳感器應用
EVG的納米壓印設備括不同的單步壓印系統(tǒng)，大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。MEMS納米壓印高性價比選擇
它為晶圓級光學元件開發(fā)、原型設計和制造提供了一種獨特的方法，可以方便地接觸***研發(fā)技術與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術確保在如3D感應的應用中使用小尺寸的高 分辨率光學傳感器供應鏈合作推動晶圓級光學元件應用要在下一代光學傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn)，先進的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用。開發(fā)先進的光學材料，需要充分地研究化學、機械與光學特性，以及已被證實的大規(guī)模生產(chǎn)（HVM）的可擴展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性，以及自動化模制和脫模的專業(yè)知識，才能在已驗證的大規(guī)模生產(chǎn)中，以**小的形狀因子達到晶圓級光學元件的比較好性能。材料供應商與加工設備制造商之間的密切合作，促成了工藝流程的研發(fā)與改善，確保晶圓級光學元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品，并增強雙方的專業(yè)技能，從而適應當前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術，并將加快新產(chǎn)品設計與原型制造的速度，為雙方的客戶保駕護航?！癗ILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時間研發(fā)產(chǎn)品的需求，同時保障比較高的保密性。MEMS納米壓印高性價比選擇
岱美儀器技術服務（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術團隊和良好的市場口碑。公司自成立以來，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個細節(jié)，公司旗下磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計、強大的技術，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務。岱美儀器技術服務憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。