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高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀售后服務(wù)

來源: 發(fā)布時間:2020-06-01

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)

XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機(jī)像素

標(biāo)配:1280×960

視場范圍

560×750um(10×物鏡)

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 <0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,1σ

臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75%;重復(fù)性 ≤0.1%,1σ

橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀售后服務(wù)

    超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:

中組部第十一批“千人計劃”特聘專家,美國KLA-Tencor(集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的龍頭企業(yè))資 深研發(fā)總監(jiān),干涉測量技術(shù)專家美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,國家教育部第 一批公派研究生,83年留學(xué)美國。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如:半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域。可以說只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,除了三維光學(xué)輪廓儀,沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。(網(wǎng)絡(luò))。 霍梅爾輪廓儀國內(nèi)用戶輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?

答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測量范圍最 大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個面的粗糙度參數(shù);

4.測量的最小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?


如果需要了解更多,請?jiān)L問官網(wǎng)。

輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化


國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化


MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化


超高精密表面工程技術(shù)


輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中,計算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),或放大的實(shí)際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機(jī)輸出。(來自網(wǎng)絡(luò)) 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息。

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供全 面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測量誤差降低到亞納米級別。


 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿足用戶對各項(xiàng)2D,3D參數(shù)檢測需求的同時,依然能夠保持高重復(fù)性,高穩(wěn)定性的運(yùn)行,其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um。自動測量輪廓儀免稅價格

隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀售后服務(wù)

表面三維輪廓儀對精密加工的作用:

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),大 大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,最終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率:

  智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點(diǎn),大 大提高加工效率。

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供全 面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測量誤差降低到亞納米級別。 高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀售后服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,是一家集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司。公司自創(chuàng)立以來,投身于磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來良好體驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。

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