1.3. 培訓計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個全 面的認識。
在整個系統(tǒng)驗收前后,安排有關人員在進行培訓。
1.4. 培訓形式
公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點;
向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;
對學員提出的問題進行詳細解答;
輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。晶片輪廓儀出廠價
我們應該如何正確使用輪廓儀?
一、準備工作
1.測量前準備。
2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。
3.擦凈工件被測表面。
二、測量
1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。
2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設置所需的測量條件。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。
5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結果進行分析,標出結果,并保存、打印。
輪廓儀輪廓儀輪廓測量應用NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度 1um。
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例
測量種類
?
基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸
?
基板A Sold Mask粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域3D 形貌
?
基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域 pad寬度
?
基板A Trace 3D形貌和尺寸
?
基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC
? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運動速度 最快
輪廓儀對精密加工的意義
現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人核心器件、航空航天材料、國防軍工設備等領域,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用: 輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍最 大可達10mm。
白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀
白光干涉3D顯微鏡:
干涉面成像,
多層垂直掃描
最 好高度測量精度:< 1nm
高度精度不受物鏡影響
性價比好
激光共聚焦3D顯微鏡:
點掃描合成面成像,
多層垂直掃描
Keyence(日本)
最 好高度測量精度:~10nm
高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍
90萬-130萬
三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。(來自網(wǎng)絡) 共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。輪廓儀輪廓儀優(yōu)惠價格
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.晶片輪廓儀出廠價
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡)
輪廓儀在集成電路的應用:
封裝bump測量
視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多層結構臺階高 MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析
激光隱形切割工藝控制 世界唯 一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,大 大地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題
晶片輪廓儀出廠價
岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,以科技創(chuàng)新實現(xiàn)高品質(zhì)管理的追求。公司自創(chuàng)立以來,投身于磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務創(chuàng)始人陳玲玲,始終關注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務。