真空鍍膜：多弧離子鍍：多弧離子鍍又稱作為電弧離子鍍，由于在陰極上有多個(gè)弧斑持續(xù)呈現(xiàn)，所以稱作為“多弧”。多弧離子鍍的主要特點(diǎn)說(shuō)明：陰極電弧蒸發(fā)離化源可從固體陰極直接產(chǎn)生等離子體，而不產(chǎn)生熔池，所以可以任意方位布置，也可采用多個(gè)蒸發(fā)離化源。鍍料的離化率高，一般達(dá)60%～90%，卓著提高與基體的結(jié)合力改善膜層的性能。沉積速率高，改善鍍膜的效率。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，弧電源工作在低電壓大電流工況，工作較為安全。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。真空鍍膜是指在真空環(huán)境下，將某種金屬或金屬化合物以氣相的形式沉積到材料表面。江門光學(xué)真空鍍膜

電子束蒸發(fā)是基于鎢絲的蒸發(fā)。大約 5 到 10 kV 的電流通過(guò)鎢絲（位于沉積區(qū)域外以避免污染）并將其加熱到發(fā)生電子熱離子發(fā)射的點(diǎn)。使用永磁體或電磁體將電子聚焦并導(dǎo)向蒸發(fā)材料（放置在坩堝中）。在電子束撞擊蒸發(fā)丸表面的過(guò)程中，其動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱量，釋放出高能量（每平方英寸數(shù)百萬(wàn)瓦以上）。因此，容納蒸發(fā)材料的爐床必須水冷以避免熔化。電子束蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，而且可以蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料，在蒸鍍合金時(shí)可以實(shí)現(xiàn)快速蒸發(fā)，避免合金的分餾，其鍍膜質(zhì)量也可以達(dá)到較高水平，可以廣泛應(yīng)用于激光器腔面鍍膜以及玻璃等各種光學(xué)材料表面鍍膜，是一種可易于實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)的成熟鍍膜技術(shù)。西安光學(xué)真空鍍膜在真空鍍膜機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常情況下，開動(dòng)真空鍍膜機(jī)時(shí)，必須先開水管，工作中應(yīng)隨時(shí)注意水壓。

影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例，反應(yīng)氣體過(guò)量就會(huì)導(dǎo)致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長(zhǎng)的過(guò)程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率，化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下，參與化合物生成的反應(yīng)氣體量增加，化合物生成率增加。如果反應(yīng)氣體量增加過(guò)度，化合物覆蓋面積增加，如果不能及時(shí)調(diào)整反應(yīng)氣體流量，化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制，濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋，當(dāng)濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候，靶完全中毒，不能繼續(xù)濺射

真空鍍膜：反應(yīng)性離子鍍：如果采用電子束蒸發(fā)源蒸發(fā)，在坩堝上方加20V～100V的正偏壓。在真空室中導(dǎo)入反應(yīng)性氣體，如氮?dú)?、氧氣、乙炔、甲烷等反?yīng)性氣體代替氬氣，或在此基礎(chǔ)上混入氬氣。電子束中的高能電子可以達(dá)到幾千至幾萬(wàn)電子伏特的能量，不僅可以使鍍料熔化蒸發(fā)，而且能在熔化的鍍料表面激勵(lì)出二次電子。二次電子在上方正偏壓作用下加速，與鍍料蒸發(fā)中性粒子發(fā)生碰撞而電離成離子，在工件表面發(fā)生離化反應(yīng)，從而獲得氧化物（如TeO2、SiO2、Al2O3、ZnO、SnO2、Cr2O3、ZrO2、InO2等）。其特點(diǎn)是沉積率高，工藝溫度低。真空鍍膜鍍的薄膜純度高。

廣義的真空鍍膜還包括在金屬或非金屬材料表面真空蒸鍍聚合物等非金屬功能性薄膜。在所有被鍍材料中，以塑料較為常見，其次，為紙張鍍膜。相對(duì)于金屬、陶瓷、木材等材料，塑料具有來(lái)源充足、性能易于調(diào)控、加工方便等優(yōu)勢(shì)，因此種類繁多的塑料或其他高分子材料作為工程裝飾性結(jié)構(gòu)材料，大量應(yīng)用于汽車、家電、日用包裝、工藝裝飾等工業(yè)領(lǐng)域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外觀不夠華麗、耐磨性低等缺陷，如在塑料表面蒸鍍一層極薄的金屬薄膜，即可賦予塑料程亮的金屬外觀，合適的金屬源還可增加材料表面耐磨性能，拓寬了塑料的裝飾性和應(yīng)用范圍。真空鍍膜在真空條件下制備薄膜，環(huán)境清潔，薄膜不易受到污染。西安光學(xué)真空鍍膜

分子束外延是一種很特殊的真空鍍膜工藝。江門光學(xué)真空鍍膜

伴隨著國(guó)際制造業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移，中國(guó)大陸電子元器件行業(yè)得到了飛速發(fā)展。從細(xì)分領(lǐng)域來(lái)看，隨著4G、移動(dòng)支付、信息安全、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域的發(fā)展，微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)產(chǎn)業(yè)進(jìn)入飛速發(fā)展期；為行業(yè)發(fā)展帶來(lái)了廣闊的發(fā)展空間。電子元器件應(yīng)用領(lǐng)域十分寬泛，幾乎涉及到國(guó)民經(jīng)濟(jì)各個(gè)工業(yè)部門和社會(huì)生活各個(gè)方面，既包括電力、機(jī)械、礦冶、交通、化工、輕紡等傳統(tǒng)工業(yè)，也涵蓋航天、激光、通信、高速軌道交通、機(jī)器人、電動(dòng)汽車、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。新型顯示、智能終端、人工智能、汽車電子、互聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用產(chǎn)品、移動(dòng)通信、智慧家庭、5G等領(lǐng)域成為中國(guó)電子元器件市場(chǎng)發(fā)展的源源不斷的動(dòng)力，帶動(dòng)了電子元器件的市場(chǎng)需求，也加快電子元器件更迭換代的速度，從下游需求層面來(lái)看，電子元器件市場(chǎng)的發(fā)展前景極為可觀。而LED芯片領(lǐng)域，隨著產(chǎn)業(yè)從顯示端向照明端演進(jìn)，相應(yīng)的電子元器件廠商也需要優(yōu)化服務(wù)型，才能為自身業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)帶來(lái)確定性。因此，從需求層面來(lái)看，電子元器件市場(chǎng)的發(fā)展前景極為可觀。江門光學(xué)真空鍍膜