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來源: 發(fā)布時間:2022-08-21

電阻真空計的三種類型:定電壓型通過保持設(shè)備電橋兩端電壓不變,再觀察失平衡電流與壓力的關(guān)系,來指示相應(yīng)的壓力變化。測量過程中,電壓固定,當(dāng)規(guī)管內(nèi)壓力波動時會使熱傳導(dǎo)發(fā)生變化,熱絲溫度也因此發(fā)生變化,從而使其中的電阻發(fā)生改變,電橋失去平衡。定溫度型(定電阻)電阻真空計測量過程中,以電橋電壓與壓力的關(guān)系為核準(zhǔn)曲線。具體實現(xiàn)過程中,熱絲電阻及其溫度基本為定值。當(dāng)壓力發(fā)生變化時,熱絲的溫度與電阻發(fā)生變化時就會通過調(diào)整電壓來使電橋恢復(fù)平衡,從而使熱絲溫度與電阻恢復(fù)原值。定電流型電阻真空計通過保持熱絲電流(或電橋電流)不變,再觀察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。這種形式的熱絲在壓力變化過程中,溫度變化非常劇烈,因此需要限制較高工作溫度,防止熱絲損毀,確保設(shè)備在全量程范圍內(nèi)的工作穩(wěn)定性。真空計又稱真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。臺州壓敏真空表銷售

皮拉尼型真空計的基本原理:利用惠斯通電橋Wheatstonebridge的補償原理,其中的一燈絲作為該電路的其中一個電阻。當(dāng)燈絲所在的氣體分子密度改變時,其熱導(dǎo)率會有所不同,因此燈絲所表現(xiàn)的溫度也會不同,間接影響電阻值的大小。固定電壓,固定電流以及固定溫度中以較后一種方法做敏感。值得注意的是,不同氣體的熱導(dǎo)率不同,因此在測量的時候要刻度上需要校對。此行真空計通過測量一發(fā)熱體與一接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。當(dāng)Kn值(克努森數(shù))在0.01

真空系統(tǒng)常用名稱:(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。(2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。(4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。

皮拉尼型真空計在氣相沉積中的分類:單片淀積工藝推動并導(dǎo)致產(chǎn)生了新的CVD反應(yīng)室結(jié)構(gòu)。這些新的結(jié)構(gòu)中絕大多數(shù)都使用了等離子體,其中一部分是為了加快反應(yīng)過程,也有一些系統(tǒng)外加一個按鈕,以控制淀積膜的質(zhì)量。根據(jù)金屬源的自特性來保證它的分類,這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài),在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。通過調(diào)整淀積:蝕刻比率,有可能得到一個很好的縫隙填充工藝。皮拉尼真空計,又有翻譯派藍(lán)尼真空計。此種真空計屬于熱傳導(dǎo)式真空計的一種。電阻真空計的維修方法檢修調(diào)節(jié)電位器及其線路。

電阻真空計校準(zhǔn)規(guī)范:真空計又稱真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的。某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中使用。校準(zhǔn)完零點后,需對其滿度校正。按滿度校正過程要求,對被測爐腔放人大氣,確保被校電阻規(guī)所測位置為大氣狀態(tài),在大氣壓下工作約10分鐘。對于無自動滿度校準(zhǔn)的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調(diào)整。低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導(dǎo)真空計。電阻真空計的維修方法檢查電源插座有無供電電壓。陜西榆林電阻型真空表

電阻真空計系是利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制造作而成的。臺州壓敏真空表銷售

熱陰極電壓真空計的常見故障:電源開關(guān)接通后指示燈不亮。這種故障可能產(chǎn)生的原因包括:無供電電壓;電源線斷路;電源保險絲燒斷;指示燈燈絲燒斷或接觸不良。規(guī)管電源接通后燈絲不亮。這種故障可能產(chǎn)生原因包括:真空度過低,規(guī)管燈絲燒斷;規(guī)管插座、開關(guān)、電纜或管座等損壞或接觸不良;規(guī)管燈絲很暗,無發(fā)射電流。故障可能原因:電源變壓器短路;晶體管穩(wěn)流器的檢出放大管無集電極輔助電壓;檢測放大器或基準(zhǔn)參考電壓部分損壞;過流保護(hù)電路晶體管損壞或元件變值,致使穩(wěn)流器過流保護(hù)裝置非正常工作。規(guī)管燈絲較暗,發(fā)射電流調(diào)不到額定值(5mA)。故障產(chǎn)生可能原因:電源變壓器短路;規(guī)管燈絲氧化或發(fā)射能力不足;規(guī)管燈絲超過正常亮度又無發(fā)射電流。故障產(chǎn)生原因可能是無加速極電壓。臺州壓敏真空表銷售

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