根據(jù)芯片制造的要求,潔凈車(chē)間通常需要達(dá)到至少百級(jí)(ISO5級(jí))以上的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。有些特殊的芯片制造過(guò)程甚至需要更高的潔凈度等級(jí)。為了達(dá)到這個(gè)目標(biāo),需要在施工前進(jìn)行嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和規(guī)劃,并采用高質(zhì)量的材料和設(shè)備。潔凈車(chē)間的墻體和天花板需要采用不易產(chǎn)生塵埃的材料,并具有良好的密封性能。同時(shí),地面材料也要耐磨、防滑、易清潔,以保持車(chē)間的潔凈和衛(wèi)生。潔凈車(chē)間需要配備高效、穩(wěn)定的空調(diào)系統(tǒng),以保證室內(nèi)空氣的流通和溫度、濕度的控制。同時(shí),為了防止外界污染進(jìn)入車(chē)間,需要安裝空氣凈化器、過(guò)濾器等設(shè)備,確保車(chē)間的潔凈度和環(huán)境質(zhì)量。還需要考慮照明、安全、消防等方面的問(wèn)題。照明要充足,使得工作人員能夠清晰地看到工作內(nèi)容;安全方面需要考慮防靜電、防塵、防護(hù)等措施,確保工作人員的安全;消防方面則需要配備滅火器、消防栓等設(shè)備,以應(yīng)對(duì)突發(fā)情況。 配備緊急噴淋與洗眼器,安裝位置應(yīng)顯眼且便于快速到達(dá),為實(shí)驗(yàn)人員提供應(yīng)急安全保障。常州潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)
在潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì)中,節(jié)能設(shè)計(jì)不僅能夠降低實(shí)驗(yàn)室的運(yùn)行成本,還符合環(huán)保要求。節(jié)能設(shè)計(jì)可以從多個(gè)方面入手,首先是建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)的節(jié)能,采用保溫性能良好的材料,減少熱量的傳遞,降低空調(diào)系統(tǒng)的能耗。例如,在墻面和吊頂使用厚質(zhì)的保溫彩鋼板,在門(mén)窗采用雙層中空玻璃,提高建筑的保溫隔熱性能。其次,空氣凈化系統(tǒng)的節(jié)能也非常重要,合理選擇風(fēng)機(jī)的型號(hào)和功率,采用變頻技術(shù)調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速,根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的實(shí)際需求自動(dòng)調(diào)整風(fēng)量,避免風(fēng)機(jī)長(zhǎng)時(shí)間滿負(fù)荷運(yùn)行。同時(shí),優(yōu)化氣流組織設(shè)計(jì),減少不必要的空氣循環(huán),提高空氣凈化效率。此外,電氣系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計(jì)也不容忽視,采用節(jié)能型照明燈具和電氣設(shè)備,安裝智能照明控制系統(tǒng),根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的使用情況自動(dòng)調(diào)節(jié)照明亮度。還可以利用太陽(yáng)能等可再生能源,為實(shí)驗(yàn)室提供部分電力,降低對(duì)傳統(tǒng)能源的依賴(lài)。通過(guò)這些節(jié)能設(shè)計(jì)措施,能夠有效降低潔凈實(shí)驗(yàn)室的能耗,實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。 秦淮區(qū)電子芯片實(shí)驗(yàn)室建設(shè)采用吸音材料對(duì)實(shí)驗(yàn)室天花板進(jìn)行處理,降低室內(nèi)噪音反射,改善實(shí)驗(yàn)環(huán)境聲學(xué)效果。
模塊化設(shè)計(jì)是一種將潔凈實(shí)驗(yàn)室按照功能或空間劃分為若干個(gè)單獨(dú)的模塊,每個(gè)模塊具有特定的功能和結(jié)構(gòu),可根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行組合和調(diào)整的設(shè)計(jì)方法。這種設(shè)計(jì)方式具有很強(qiáng)的靈活性和可擴(kuò)展性,能夠適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室不斷變化的科研需求。例如,在實(shí)驗(yàn)室建設(shè)初期,可以根據(jù)當(dāng)前的研究方向和實(shí)驗(yàn)需求,選擇合適的模塊進(jìn)行組合,構(gòu)建滿足基本功能的實(shí)驗(yàn)室。隨著研究的深入和業(yè)務(wù)的拓展,需要增加新的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目或設(shè)備時(shí),可以通過(guò)增加相應(yīng)的模塊來(lái)實(shí)現(xiàn),而無(wú)需對(duì)整個(gè)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行大規(guī)模改造。模塊化設(shè)計(jì)還便于實(shí)驗(yàn)室的維護(hù)和管理,當(dāng)某個(gè)模塊出現(xiàn)故障時(shí),可以單獨(dú)對(duì)該模塊進(jìn)行維修或更換,不影響其他模塊的正常運(yùn)行。此外,模塊化設(shè)計(jì)可以提高施工效率,縮短建設(shè)周期,降低建設(shè)成本。在設(shè)計(jì)過(guò)程中,要確保各個(gè)模塊之間的接口標(biāo)準(zhǔn)化,保證模塊之間的連接緊密、可靠,不影響實(shí)驗(yàn)室的整體性能和潔凈度。
空氣凈化系統(tǒng)是潔凈實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)潔凈度要求的主要設(shè)備,它主要包括過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)、風(fēng)管等組成部分。過(guò)濾器是空氣凈化系統(tǒng)的關(guān)鍵部件,根據(jù)過(guò)濾效率可分為初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器和高效過(guò)濾器。初效過(guò)濾器主要用于過(guò)濾大顆粒灰塵和雜物,中效過(guò)濾器進(jìn)一步過(guò)濾較小顆粒的灰塵,高效過(guò)濾器則能夠過(guò)濾掉,達(dá)到極高的過(guò)濾效率。在設(shè)計(jì)空氣凈化系統(tǒng)時(shí),應(yīng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的潔凈度等級(jí)合理選擇過(guò)濾器的組合方式和過(guò)濾效率。例如,對(duì)于萬(wàn)級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室,通常采用初效、中效和高效三級(jí)過(guò)濾系統(tǒng);對(duì)于更高潔凈度等級(jí)的實(shí)驗(yàn)室,可能還需要增加亞高效過(guò)濾器或超高效過(guò)濾器。同時(shí),要合理確定風(fēng)機(jī)的風(fēng)量和風(fēng)壓,確??諝饽軌蛟趯?shí)驗(yàn)室內(nèi)部均勻循環(huán)和有效過(guò)濾。風(fēng)管的設(shè)計(jì)也不容忽視,應(yīng)采用表面光滑、不易積塵的材料,并合理布置風(fēng)管走向,減少?gòu)濐^和變徑,降低風(fēng)阻,提高空氣輸送效率。此外,還需定期對(duì)空氣凈化系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)和更換過(guò)濾器,以保證其持續(xù)高效運(yùn)行。 設(shè)計(jì)靈活的實(shí)驗(yàn)臺(tái)布局,可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行組合與拆分,提高空間利用率與實(shí)驗(yàn)便利性。
實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)需多方面考量。首先要保證實(shí)驗(yàn)室的安全性,滿足一定數(shù)量的換氣次數(shù)。在確定通風(fēng)柜數(shù)量時(shí),通常需根據(jù)工藝要求和功能布置來(lái)選擇。例如一些化學(xué)合成實(shí)驗(yàn)室,由于實(shí)驗(yàn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量有害氣體,需要較多的通風(fēng)柜。在計(jì)算換氣次數(shù)時(shí),不僅要按照通風(fēng)柜**大開(kāi)啟面積計(jì)算通風(fēng)量,還應(yīng)校核通風(fēng)柜**小開(kāi)啟面積時(shí)的通風(fēng)量和換氣次數(shù)。資料和經(jīng)驗(yàn)表明,很多時(shí)候通風(fēng)柜并非全部同時(shí)使用,若**小開(kāi)啟面積時(shí)的換氣次數(shù)小于要求,則需增加綜合排風(fēng)系統(tǒng),以確保室內(nèi)空氣質(zhì)量始終達(dá)標(biāo)。實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)采用全新風(fēng)系統(tǒng),通風(fēng)柜的排氣不在室內(nèi)循環(huán)。因?yàn)閷?shí)驗(yàn)室要求相對(duì)其他輔助區(qū)域?yàn)樨?fù)壓,所以實(shí)驗(yàn)室的新風(fēng)量設(shè)計(jì)為排風(fēng)量的70%-80%。另20%-30%的新風(fēng)送至實(shí)驗(yàn)室輔助房間、辦公、管理用房?jī)?nèi)走道等,再由門(mén)窗縫隙補(bǔ)充到房間。實(shí)驗(yàn)室門(mén)應(yīng)向外開(kāi)啟,寬度滿足設(shè)備搬運(yùn)與緊急疏散需求,且安裝門(mén)禁系統(tǒng)保障實(shí)驗(yàn)安全。鼓樓區(qū)理化實(shí)驗(yàn)室
實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的插座應(yīng)具備防水、防塵功能,防止因液體濺入或灰塵堆積引發(fā)安全事故。常州潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)
實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)是現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室供氣的主流模式。其基本概念是將所有氣瓶集中儲(chǔ)存在專(zhuān)門(mén)的瓶室,通過(guò)氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室的儀器側(cè)。該系統(tǒng)通常采用二級(jí)減壓或多級(jí)減壓方式。二級(jí)減壓即在氣瓶端使用一級(jí)減壓閥,末端再設(shè)置一級(jí)減壓閥,以實(shí)現(xiàn)氣體壓力的逐步穩(wěn)定調(diào)節(jié);多級(jí)減壓則是在氣瓶端和末端分別采用二級(jí)或多級(jí)減壓閥,雖減壓效果類(lèi)似,但成本相對(duì)較高。集中供氣系統(tǒng)能為實(shí)驗(yàn)室分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)氣體。例如,供氣匯流排先將氣體從15MPa減壓到以下,再輸送到各用氣實(shí)驗(yàn)室,各實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn)安裝的二級(jí)減壓器可對(duì)壓力進(jìn)行精確調(diào)整,滿足儀器對(duì)不同壓力的需求。而且,該系統(tǒng)還具備諸多安全設(shè)計(jì),如針對(duì)易燃?xì)怏w(如氫氣、乙炔)設(shè)計(jì)泄漏檢測(cè)報(bào)警裝置、安裝阻火器等,充分保障了實(shí)驗(yàn)室的氣體使用安全。 常州潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)
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