硅片微流道加工在微納器件中的應用拓展：硅片作為MEMS工藝的主流材料，在微流控芯片中兼具機械強度與加工精度優(yōu)勢。公司利用深硅刻蝕（DRIE）技術實現(xiàn)高深寬比（>20:1）微流道加工，深度可達500μm以上，適用于高壓流體控制、微反應器等場景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層，可集成微電極、壓力傳感器等功能單元，構建“芯片實驗室”（Lab-on-a-Chip）系統(tǒng)。例如，在腦機接口柔性電極芯片中，硅基微流道與鉑銥電極的集成設計，實現(xiàn)了神經(jīng)信號記錄與藥物微灌注的同步功能，其生物相容性通過表面PEG涂層優(yōu)化，可長期植入體內(nèi)穩(wěn)定工作。公司還開發(fā)了硅片與PDMS、玻璃的異質(zhì)鍵合技術，解決了不同材料熱膨脹系數(shù)差異導致的應力問題，推動硅基微流控芯片在生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)測等領域的跨學科應用。微流控芯片的前景是什么？上海微流控芯片聯(lián)系人

微流控分析芯片當初只是作為納米技術的一個補充，在經(jīng)歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后，卻實現(xiàn)了商業(yè)化生產(chǎn)。微流控分析芯片在美國被稱為“芯片實驗室”（lab-on-a-chip），在歐洲被稱為“微整合分析芯片”（micrototal analytical systems），隨著材料科學、微納米加工技術（MEMS）和微電子學所取得的突破性進展，微流控芯片也得到了迅速發(fā)展，但還是遠不及“摩爾定律”所預測的半導體發(fā)展速度。現(xiàn)在阻礙微流控技術發(fā)展的瓶頸仍然是早期限制其發(fā)展的制造加工和應用方面的問題。陜西微流控芯片單細胞分析微流控芯片技術用于單細胞分析。

微流控芯片是微流控技術實現(xiàn)的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結構（通道、反應室和其它某些功能部件）至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結構，流體在其中顯示和產(chǎn)生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發(fā)展出獨特的分析產(chǎn)生的性能。微流控芯片的特點及發(fā)展優(yōu)勢：微流控芯片具有液體流動可控、消耗試樣和試劑極少、分析速度成十倍上百倍地提高等特點,它可以在幾分鐘甚至更短的時間內(nèi)進行上百個樣品的同時分析,并且可以在線實現(xiàn)樣品的預處理及分析全過程。

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發(fā)生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當?shù)目涛g劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環(huán)境，無法實現(xiàn)快速批量生產(chǎn)。在微流控芯片上檢測所需要被檢測的樣本量體積往往只需要微升級別。

微針電極與組織液提取芯片的創(chuàng)新加工技術：微針電極作為生物檢測與給藥的前沿器件，需兼顧機械強度與生物相容性。公司采用干濕結合刻蝕工藝，在硅或硬質(zhì)塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列，針尖曲率半徑控制在5μm以內(nèi)，確保穿刺過程的低創(chuàng)傷性。針對類***電生理記錄需求，開發(fā)了“觸凸”電極結構，在微針頂端集成納米級金屬電極（如金/鉑薄膜），實現(xiàn)對單個細胞電信號的高靈敏度捕獲。同時，微針陣列可用于組織液提取，通過中空結構設計與毛細作用，在30秒內(nèi)完成微升量級體液采集，避免傳統(tǒng)**的痛苦與***風險。該技術結合表面親疏水修飾，解決了微針堵塞與生物污染問題，已應用于連續(xù)血糖監(jiān)測芯片與藥物透皮遞送系統(tǒng)，為可穿戴醫(yī)療設備提供**組件支持。MEMS 多重轉印工藝實，較短可 10 個工作日交付。重慶微流控芯片之聲表面波器件加工

MEMS 工藝實現(xiàn)超薄柔性生物電極定制，用于腦機接口電刺激與電信號記錄。上海微流控芯片聯(lián)系人

通過微流控芯片檢測，有助于改進診斷性能、發(fā)現(xiàn)尚未被識別的致病性自身抗體。隨著微流控免疫芯片的推廣，自身抗體檢測成為微流控免疫芯片的重要研究方向之一。此類芯片的設計不同于其他免疫芯片，用于自身抗體檢測的微流控芯片須將自身抗原固定在芯片表面。Matsudaira等人通過光活性劑將自身抗原共價固定在聚酯平板上，利用光照射誘導自由基反應實現(xiàn)固定，不需要自身抗原的特定官能團。Ortiz等人將3種自身抗體通過羧基端硫醇化而固定在聚酯表面，用于檢測乳糜瀉特異性自身抗體，該微流控芯片的敏感性接近商品化酶聯(lián)免疫吸附試驗試劑盒。上海微流控芯片聯(lián)系人