單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數(shù)越大，氣流流型合理，稀釋效果越***，潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù)，是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數(shù)，記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數(shù)：根據(jù)潔凈室總風量除以法凈室的容積求得CMA資質方面：認可第三方檢測機構，CMA計量認證資質。北京電子廠房環(huán)境檢測服務至上

每臺風機出風面至少1點平均風速范圍：m/s±20%額定風量測定用風量罩測試送風量風量罩的上開口應完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置：回風口，風機進風口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計設置氣溶膠濃度調節(jié)F.檢漏掃描整個過濾器和安裝所有邊框和接點。采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）。采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結構部件：a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）f)采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過濾器檢漏標準泄露率≤6.高效過濾器完整性檢測標準(高效過濾器檢漏標準)ISO14644-3。上?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境檢測認真負責潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進機會應納入持續(xù)改進計劃中。

潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類（1）空態(tài)設施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產(chǎn)設備、材料及生產(chǎn)人員。（2）靜態(tài)已全部建成的設施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設備并按業(yè)主供應商商定的方式試遠轉，但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。（3）動態(tài)設施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。2、潔凈室與一般通風空調系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調是空調工程中的一種，它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風速有一定要求，而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風工程的設計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設計、施工均有特殊的要求與相應的技術措施其造價也相應提高。

風量或風速、室內(nèi)靜壓差、空氣潔凈度等級、換氣次數(shù)、室內(nèi)浮游菌和沉降菌、溫度和相對濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時間、污染泄露、照度（照明）、甲醛、細菌濃度。1、醫(yī)院潔凈手術部：風速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。4、食品工業(yè)潔凈用房：定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區(qū)截面風速、開發(fā)的洞口風速、新風量。定期對潔凈室管理人員進行培訓和考核，提升其專業(yè)素養(yǎng)。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結構來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響安裝驗證和操作驗證完成并進行確認工作后即進行性能驗證。浙江潔凈室環(huán)境檢測認真負責

按所需控制的空氣中懸浮微粒分類，可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。北京電子廠房環(huán)境檢測服務至上

6.2.1潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；關閉時聯(lián)鎖程序應相反。負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置值班送風，并應進行凈化空調處理。北京電子廠房環(huán)境檢測服務至上