按干涉光來源區(qū)分：分為波前分解干涉儀和幅度分解干涉儀。波前分解干涉儀利用波前上不同位置的子波源形成干涉，如楊氏雙縫干涉；而幅度分解干涉儀則通過界面部分反射等方式將一束入射光分為兩束或多束形成干涉，如斐索干涉儀、邁克爾遜干涉儀和法布里-珀**涉儀等。四、應用干涉儀在多個領域都有廣泛應用，包括但不限于：光學測量：用于測量光波的波長、頻率和相位差。材料科學：用于分析材料的折射率、厚度和表面形貌。生物醫(yī)學：用于顯微鏡成像、生物傳感和醫(yī)學診斷。天文學：用于測量星體的直徑等。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴展；工業(yè)園區(qū)耐用雙頻激光干涉儀維保

多普勒效應：當測量鏡移動時，測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測：光電探測器將光信號轉為電信號，經電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數來計算位移。二、主要特點精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到微米（μm）量級，細分后更可達到納米（nm）量級。應用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。工業(yè)園區(qū)耐用雙頻激光干涉儀維保高精度：雙頻激光干涉儀能夠實現(xiàn)亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測。

（3）數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-（f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后，由電子計算機進行當量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學研究和工業(yè)應用中都具有重要的地位。

另一方面，當可動棱鏡移動時，前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號，而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f，結果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。應用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等廣泛應用：廣泛應用于材料科學、機械工程、光學測量、精密制造等領域。江蘇直銷雙頻激光干涉儀產品介紹

在科學研究和工業(yè)檢測中，干涉儀是一種非常重要的工具。工業(yè)園區(qū)耐用雙頻激光干涉儀維保

截止***，激光干涉儀引力波探測器已經發(fā)展了40余年。 目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱***直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀， 而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀（Hellings 和Downs, 1983） [8]。其他用作高分辨率光譜儀。法布里-珀**涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。工業(yè)園區(qū)耐用雙頻激光干涉儀維保

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