多普勒效應(yīng)：當(dāng)測量鏡移動時，測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測：光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。二、主要特點精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量，即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米（μm）量級，細(xì)分后更可達(dá)到納米（nm）量級。應(yīng)用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等?，F(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。蘇州新款雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術(shù)實現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)及光學(xué)平臺校準(zhǔn)。其測量鏡組可擴(kuò)展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補(bǔ)償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設(shè)計、自動環(huán)境補(bǔ)償及符合測校國家標(biāo)準(zhǔn)的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達(dá)2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。工業(yè)園區(qū)安裝雙頻激光干涉儀選擇雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。

(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應(yīng)，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強(qiáng)度和磁場變化的影響。在光強(qiáng)度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠(yuǎn)距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時間。用激光干涉儀作為機(jī)床的測量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測量機(jī)上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設(shè)計制造出來的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術(shù)中，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實驗中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測量機(jī)，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實時動態(tài)測速高現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀**終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中因此，對于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進(jìn)其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應(yīng)用，具有重大意義。利用多普勒效應(yīng)，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強(qiáng)度和磁場變化的影響。張家港耐用雙頻激光干涉儀選擇

其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。蘇州新款雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer（激光干涉儀）蘇州新款雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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