激光干涉測量儀通過雙頻激光技術(shù)實現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機校準(zhǔn)及光學(xué)平臺校準(zhǔn)。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設(shè)計、自動環(huán)境補償及符合測校國家標(biāo)準(zhǔn)的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達(dá)2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。利用多普勒效應(yīng)，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。姑蘇區(qū)通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

按干涉光來源區(qū)分：分為波前分解干涉儀和幅度分解干涉儀。波前分解干涉儀利用波前上不同位置的子波源形成干涉，如楊氏雙縫干涉；而幅度分解干涉儀則通過界面部分反射等方式將一束入射光分為兩束或多束形成干涉，如斐索干涉儀、邁克爾遜干涉儀和法布里-珀**涉儀等。四、應(yīng)用干涉儀在多個領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用，包括但不限于：光學(xué)測量：用于測量光波的波長、頻率和相位差。材料科學(xué)：用于分析材料的折射率、厚度和表面形貌。生物醫(yī)學(xué)：用于顯微鏡成像、生物傳感和醫(yī)學(xué)診斷。天文學(xué)：用于測量星體的直徑等。吳江區(qū)通用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)光程傳播：參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑，可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。

經(jīng)M2反射的光三次穿過G2分光板，而經(jīng)M1反射的光通過G2分光板只一次。G1補償板的設(shè)置是為了消除這種不對稱。在使用單色光源時，可以利用空氣光程來補償，不一定要補償板；但在復(fù)色光源時，由于玻璃和空氣的色散不同，補償板則是不可或缺的。如果要觀察白光的干涉條紋，臂基本上完全對稱，也就是兩相干光的光程差要非常小，這時候可以看到彩色條紋；假若M1或M2有略微的傾斜，就可以得到等厚的交線處（d=0）的干涉條紋為中心對稱的彩色直條紋，**條紋由于半波損失為暗條紋。邁克爾遜和愛德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進(jìn)行了***的邁克耳遜-莫雷實驗，并證實了以太的不存在。

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。3、儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴展；

按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類， 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]； 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***，主要有如下幾方面：長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進(jìn)行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。姑蘇區(qū)通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。姑蘇區(qū)通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

這種無規(guī)則的變化較難通過觸發(fā)電平的自動調(diào)整來補償，因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍，只有設(shè)法用交流測量系統(tǒng)代替直流測量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器，所不同者，一方面是當(dāng)可動棱鏡不動時，前者的干涉信號是介于**亮和**暗之間的某個直流光平，而后者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號；姑蘇區(qū)通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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