邁克爾遜干涉儀(英文:Michelson interferometer)是光學(xué)干涉儀中最常見的一種,其發(fā)明者是美國物理學(xué)家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經(jīng)過分光鏡分為兩束后各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來,因?yàn)檫@兩束光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定(即滿足干涉條件),所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)節(jié)干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實(shí)現(xiàn),從而能夠形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差的軌跡,因此,要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,必需求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)。雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測長度進(jìn)行度量的儀器。太倉安裝雙頻激光干涉儀維保
這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。姑蘇區(qū)新款雙頻激光干涉儀五星服務(wù)當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。
干涉儀是很***的一類實(shí)驗(yàn)技術(shù)的總稱, 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息, 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1], 光學(xué), 工程測量, 海洋學(xué), 地震學(xué), 波譜分析, 量子物理實(shí)驗(yàn), 遙感, 雷達(dá)等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用(Hariharan, 2007) [2]。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化, 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動(dòng)在一點(diǎn)處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動(dòng)為
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較好精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時(shí)相互疊加,形成新的波形的現(xiàn)象。
按干涉光來源區(qū)分:分為波前分解干涉儀和幅度分解干涉儀。波前分解干涉儀利用波前上不同位置的子波源形成干涉,如楊氏雙縫干涉;而幅度分解干涉儀則通過界面部分反射等方式將一束入射光分為兩束或多束形成干涉,如斐索干涉儀、邁克爾遜干涉儀和法布里-珀**涉儀等。四、應(yīng)用干涉儀在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用,包括但不限于:光學(xué)測量:用于測量光波的波長、頻率和相位差。材料科學(xué):用于分析材料的折射率、厚度和表面形貌。生物醫(yī)學(xué):用于顯微鏡成像、生物傳感和醫(yī)學(xué)診斷。天文學(xué):用于測量星體的直徑等。起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測量機(jī)上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。太倉安裝雙頻激光干涉儀維保
由于其高精度和高靈敏度,激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。太倉安裝雙頻激光干涉儀維保
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量,若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條,便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變?chǔ)?2。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中,如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀。 [1]太倉安裝雙頻激光干涉儀維保
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