激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產(chǎn)能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產(chǎn)品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業(yè)產(chǎn)品已服務國內外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴展；張家港購買雙頻激光干涉儀五星服務

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設計、自動環(huán)境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。相城區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中。

雙頻激光干涉儀激光干涉儀在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產(chǎn)生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化)。

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分，分別經(jīng)過不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣，從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟：激光發(fā)射：激光器發(fā)出單色光束。光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播：參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑，可能會經(jīng)過被測物體或介質。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。高精度：雙頻激光干涉儀能夠實現(xiàn)亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測。

干涉儀是很***的一類實驗技術的總稱， 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實驗所關心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學 (Thompson et al, 2001) [1]， 光學， 工程測量， 海洋學， 地震學， 波譜分析， 量子物理實驗， 遙感， 雷達等等精密測量領域都有廣泛應用（Hariharan， 2007） [2]。具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發(fā)生變化， 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。相城區(qū)直銷雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。張家港購買雙頻激光干涉儀五星服務

(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。張家港購買雙頻激光干涉儀五星服務

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