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常州巴頓VAC6001AB017分子泵軸承

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-04

新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),以滿足機(jī)械行業(yè)對(duì)真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤(rùn)滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機(jī)械啟停的溫度波動(dòng)中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機(jī)械工藝的真空度提供可靠保障。全流程質(zhì)量控制,新巴頓分子泵軸承確保機(jī)械應(yīng)用的可靠性。常州巴頓VAC6001AB017分子泵軸承

分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承的軸向定位設(shè)計(jì)確保機(jī)械系統(tǒng)的精確運(yùn)轉(zhuǎn)。對(duì)于需要嚴(yán)格控制軸向竄動(dòng)的場(chǎng)景(如光刻機(jī)的真空傳輸腔),采用雙向推力軸承與定位環(huán)組合,軸向游隙控制在 1-3μm,配合電機(jī)編碼器反饋,實(shí)現(xiàn)軸向位置精度 ±5μm。在渦輪分子泵中,軸承的軸向預(yù)緊通過(guò)彈簧加載機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn),預(yù)緊力隨溫度變化的補(bǔ)償量≤10%,避免因熱膨脹導(dǎo)致的軸向間隙變化。這種定位技術(shù)使分子泵軸承在機(jī)械高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),轉(zhuǎn)子的軸向跳動(dòng)≤10μm,滿足半導(dǎo)體制造等精密機(jī)械對(duì)運(yùn)動(dòng)精度的嚴(yán)苛要求,保障工藝重復(fù)性與良率。蘇州巴頓C102HY17分子泵軸承巴頓分子泵軸承:高效傳輸,提升分子泵性能。

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分子泵軸承的材料選擇直接決定其性能邊界。傳統(tǒng)鋼制軸承在超高速工況下易因摩擦生熱導(dǎo)致退火失效,而新巴頓主推的氧化鋯陶瓷(ZrO?)軸承,憑借 230GPa 的抗彎強(qiáng)度與 0.2 的摩擦系數(shù),將軸承壽命提升至鋼制產(chǎn)品的 5-8 倍。其陶瓷球與不銹鋼套圈的熱膨脹系數(shù)差異設(shè)計(jì),可在 - 20℃至 150℃溫度區(qū)間內(nèi)自動(dòng)補(bǔ)償游隙,避免因熱變形導(dǎo)致的卡死現(xiàn)象。此外,針對(duì)真空鍍膜行業(yè)的金屬蒸汽腐蝕問(wèn)題,公司推出的 PVD 類金剛石涂層(DLC)軸承,通過(guò)在滾道表面沉積 1-3μm 的非晶碳層,使軸承抗腐蝕能力提升 40%,有效解決鋁蒸汽沉積導(dǎo)致的軸承膠合問(wèn)題。

為滿足機(jī)械行業(yè)的全球化需求,新巴頓建立了分子泵軸承的國(guó)際物流網(wǎng)絡(luò)。通過(guò) DHL、FedEx 等國(guó)際快遞,常規(guī)型號(hào)可在 3-5 個(gè)工作日送達(dá)亞太地區(qū),5-7 個(gè)工作日送達(dá)歐美;大宗貨物采用空運(yùn)(上海浦東機(jī)場(chǎng)至法蘭克福、洛杉磯等樞紐),清關(guān)時(shí)間≤24 小時(shí)。針對(duì)海外機(jī)械客戶的特殊需求,提供本地化倉(cāng)儲(chǔ)服務(wù)(如在越南、墨西哥設(shè)立保稅倉(cāng)),庫(kù)存周轉(zhuǎn)率達(dá) 8 次 / 年,縮短交貨周期至 7-10 天。國(guó)際物流方案的優(yōu)化使新巴頓分子泵軸承能夠快速響應(yīng)全球機(jī)械市場(chǎng)的需求,支持國(guó)內(nèi)機(jī)械企業(yè)的海外項(xiàng)目拓展。獨(dú)特結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),讓新巴頓分子泵軸承適應(yīng)高速運(yùn)轉(zhuǎn),性能穩(wěn)定出色。

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針對(duì)機(jī)械行業(yè)的噪聲控制需求,新巴頓對(duì)分子泵軸承進(jìn)行噪聲頻譜優(yōu)化。通過(guò)頻譜分析發(fā)現(xiàn),軸承噪聲主要來(lái)自滾動(dòng)體打滑(1000-3000Hz)和保持架碰撞(5000-8000Hz),因此采用橢圓滾子修形(修形量 0.01-0.03mm)降低打滑率,保持架采用鏤空式設(shè)計(jì)(質(zhì)量減輕 20%)減少碰撞能量。在紡織機(jī)械的真空吸風(fēng)機(jī)中,優(yōu)化后的軸承噪聲從 75dB 降至 62dB,符合車間噪聲≤85dB 的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。噪聲測(cè)試在半消聲室(本底噪聲≤30dB)中進(jìn)行,通過(guò) 1/3 倍頻程分析,確保各頻段噪聲均低于行業(yè)限值,為機(jī)械操作人員創(chuàng)造更舒適的工作環(huán)境。巴頓分子泵軸承:高效節(jié)能,降低運(yùn)行成本。徐匯區(qū)巴頓YCA1835SSW85分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:耐腐蝕合金材料,適應(yīng)惡劣環(huán)境。常州巴頓VAC6001AB017分子泵軸承

新巴頓的分子泵軸承質(zhì)量控制貫穿全生產(chǎn)流程。原材料進(jìn)廠檢驗(yàn)包括超聲波探傷(缺陷分辨率≤0.1mm)、硬度測(cè)試(誤差 ±1HRC);加工過(guò)程中采用在線檢測(cè)(如滾道尺寸激光測(cè)量,精度 ±0.5μm);成品測(cè)試包含振動(dòng)檢測(cè)(加速度傳感器采樣率 50kHz)、壽命試驗(yàn)(額定載荷下運(yùn)行 1000 小時(shí))。質(zhì)量控制體系符合 ISO 9001:2015 標(biāo)準(zhǔn),每批軸承附帶材質(zhì)報(bào)告、檢測(cè)報(bào)告、壽命測(cè)試曲線,確保機(jī)械用戶可追溯產(chǎn)品質(zhì)量。在機(jī)械行業(yè)的質(zhì)量審計(jì)中,該公司的軸承合格率達(dá) 99.8%,退貨率<0.1%,為可靠性提供堅(jiān)實(shí)保障。常州巴頓VAC6001AB017分子泵軸承

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