分子泵軸承的材料選擇直接決定其性能邊界。傳統(tǒng)鋼制軸承在超高速工況下易因摩擦生熱導(dǎo)致退火失效,而新巴頓主推的氧化鋯陶瓷(ZrO?)軸承,憑借 230GPa 的抗彎強(qiáng)度與 0.2 的摩擦系數(shù),將軸承壽命提升至鋼制產(chǎn)品的 5-8 倍。其陶瓷球與不銹鋼套圈的熱膨脹系數(shù)差異設(shè)計(jì),可在 - 20℃至 150℃溫度區(qū)間內(nèi)自動(dòng)補(bǔ)償游隙,避免因熱變形導(dǎo)致的卡死現(xiàn)象。此外,針對(duì)真空鍍膜行業(yè)的金屬蒸汽腐蝕問(wèn)題,公司推出的 PVD 類金剛石涂層(DLC)軸承,通過(guò)在滾道表面沉積 1-3μm 的非晶碳層,使軸承抗腐蝕能力提升 40%,有效解決鋁蒸汽沉積導(dǎo)致的軸承膠合問(wèn)題。高效節(jié)能設(shè)計(jì),讓新巴頓分子泵軸承降低運(yùn)行成本更明顯。C1904X205Y19分子泵軸承采購(gòu)
新巴頓分子泵軸承在加工過(guò)程中進(jìn)行高精度動(dòng)平衡處理,殘余不平衡量≤1g?mm/kg,確保機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的低振動(dòng)特性。在大型分子泵機(jī)組中,軸承與轉(zhuǎn)子的組合動(dòng)平衡等級(jí)達(dá)到 G1.0(ISO 1940 標(biāo)準(zhǔn)),當(dāng)轉(zhuǎn)速 30000rpm 時(shí),軸承座振動(dòng)速度≤1.0mm/s。這種動(dòng)態(tài)平衡技術(shù)可避免機(jī)械系統(tǒng)因振動(dòng)導(dǎo)致的連接件松動(dòng)、密封失效等問(wèn)題,尤其適用于半導(dǎo)體光刻機(jī)的真空系統(tǒng) —— 該場(chǎng)景要求振動(dòng)振幅<10μm,軸承的高精度平衡配合阻尼器設(shè)計(jì),可將振動(dòng)控制在 5μm 以內(nèi),保障光刻工藝的精度。奉賢區(qū)巴頓VAC61900AC016分子泵軸承先進(jìn)降噪技術(shù),使新巴頓分子泵軸承降低振動(dòng)噪音,優(yōu)化環(huán)境。
高速真空環(huán)境下的潤(rùn)滑是分子泵軸承的技術(shù)難點(diǎn)。新巴頓采用油氣混合潤(rùn)滑技術(shù),通過(guò)微量油霧(0.01-0.05ml/h)與壓縮空氣的精確配比,在軸承滾道表面形成納米級(jí)潤(rùn)滑膜,既避免傳統(tǒng)脂潤(rùn)滑的積碳問(wèn)題,又將摩擦功耗降低 60%。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室需求,公司開(kāi)發(fā)的全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑脂,其揮發(fā)分低于 0.1%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),且在 10??Pa 真空度下仍保持穩(wěn)定潤(rùn)滑狀態(tài)。該潤(rùn)滑方案使軸承維護(hù)周期從傳統(tǒng)的 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 12 個(gè)月,大幅降低半導(dǎo)體產(chǎn)線的停機(jī)成本。
新巴頓自主研發(fā)的微量油氣潤(rùn)滑系統(tǒng),將潤(rùn)滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統(tǒng)脂潤(rùn)滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問(wèn)題的產(chǎn)生。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑脂,其揮發(fā)分含量低于 0.08%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),即便在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,依然能保持穩(wěn)定的潤(rùn)滑性能。某半導(dǎo)體 MOCVD 設(shè)備使用該潤(rùn)滑方案后,軸承的維護(hù)周期從 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 14 個(gè)月,每年可節(jié)省設(shè)備維護(hù)成本約 120 萬(wàn)元,同時(shí)減少了因潤(rùn)滑問(wèn)題導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。巴頓分子泵軸承:嚴(yán)格測(cè)試流程,確保產(chǎn)品可靠性。
新巴頓分子泵軸承在設(shè)計(jì)階段充分考慮與機(jī)械系統(tǒng)的兼容性,支持多種安裝方式與接口標(biāo)準(zhǔn)。軸承外圈止動(dòng)槽、內(nèi)圈鍵槽等結(jié)構(gòu)符合 ISO 15:2014 標(biāo)準(zhǔn),可直接替換市場(chǎng)主流品牌型號(hào)(如 SKF、FAG),降低機(jī)械改造難度。對(duì)于特殊接口需求(如法蘭式安裝、螺紋孔定位),提供定制化過(guò)渡套圈,安裝公差配合精度達(dá) H7/h6。在真空鍍膜機(jī)的集成應(yīng)用中,軸承與泵體法蘭的連接面平面度≤5μm,通過(guò)真空密封膠(如 Viton 膠)填充,確保機(jī)械裝配后的真空密封性,減少系統(tǒng)集成的調(diào)試時(shí)間與成本。專業(yè)安裝工具配套,新巴頓分子泵軸承提升機(jī)械裝配效率與精度。嘉定區(qū)VAC6001AB017分子泵軸承
巴頓分子泵軸承:實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的理想選擇。C1904X205Y19分子泵軸承采購(gòu)
借助數(shù)字化技術(shù),新巴頓為分子泵軸承構(gòu)建數(shù)字化孿生模型,實(shí)現(xiàn)機(jī)械系統(tǒng)的預(yù)測(cè)性維護(hù)。通過(guò)采集軸承的溫度、振動(dòng)、載荷等實(shí)時(shí)數(shù)據(jù),在虛擬空間中構(gòu)建動(dòng)態(tài)仿真模型,預(yù)測(cè)剩余壽命(誤差≤5%)與失效概率。某汽車零部件廠的真空壓鑄機(jī)應(yīng)用該技術(shù)后,軸承更換周期從固定 5000 小時(shí)優(yōu)化至按需維護(hù),維護(hù)成本降低 40%,停機(jī)時(shí)間減少 60%。數(shù)字化孿生還可模擬不同工況對(duì)軸承的影響,如快速啟停、載荷突變等,為機(jī)械工程師提供優(yōu)化運(yùn)行參數(shù)的依據(jù),提升分子泵軸承在復(fù)雜機(jī)械系統(tǒng)中的使用效率。C1904X205Y19分子泵軸承采購(gòu)