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巴頓C1907X205Y15分子泵軸承供應(yīng)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-14

分子泵軸承的低溫工況適應(yīng)性:在低溫真空環(huán)境(-196℃至 0℃)中,軸承材料的低溫脆性是關(guān)鍵挑戰(zhàn)。新巴頓選用 AISI 440C 不銹鋼(-196℃時(shí)沖擊功≥15J)制造套圈,配合聚四氟乙烯(PTFE)保持架,在液氦冷卻的分子泵中仍保持良好韌性。潤(rùn)滑方面采用全氟聚醚(PFPE)低溫脂(傾點(diǎn) - 60℃),其粘度指數(shù)>400,在 - 150℃時(shí)仍具有流動(dòng)潤(rùn)滑能力。某超導(dǎo)磁體系統(tǒng)用分子泵采用該方案后,在 - 180℃工況下連續(xù)運(yùn)行 3000 小時(shí),軸承摩擦系數(shù)穩(wěn)定在 0.015-0.02 之間。雙向推力軸承定位,新巴頓分子泵軸承確保機(jī)械軸向精度達(dá) ±5μm。巴頓C1907X205Y15分子泵軸承供應(yīng)

分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承在機(jī)械行業(yè)多個(gè)領(lǐng)域積累了成功應(yīng)用案例。在某半導(dǎo)體企業(yè)的刻蝕設(shè)備中,采用 7210AC 角接觸軸承組合,配合油氣潤(rùn)滑系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速 35000rpm 下連續(xù)運(yùn)行 18 個(gè)月無(wú)故障,真空度穩(wěn)定在 5×10??Pa;在光伏鍍膜設(shè)備中,全陶瓷軸承(Si?N?)抵抗 Al 蒸汽沉積導(dǎo)致的污染,壽命較鋼軸承提升 4 倍。通過(guò)失效分析(如斷口電鏡觀察、材料成分檢測(cè)),該公司發(fā)現(xiàn)機(jī)械故障多源于安裝偏心(偏差>0.05mm)或潤(rùn)滑不足,因此在售后培訓(xùn)中強(qiáng)調(diào)安裝規(guī)范,使客戶現(xiàn)場(chǎng)的軸承早期失效概率從 12% 降至 3% 以下,為機(jī)械用戶創(chuàng)造實(shí)際效益。黃浦區(qū)C36STAY52分子泵軸承新巴頓分子泵軸承提高承載能力,應(yīng)對(duì)極端工況輕松自如。

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新巴頓自主研發(fā)的微量油氣潤(rùn)滑系統(tǒng),將潤(rùn)滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統(tǒng)脂潤(rùn)滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問(wèn)題的產(chǎn)生。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑脂,其揮發(fā)分含量低于 0.08%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),即便在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,依然能保持穩(wěn)定的潤(rùn)滑性能。某半導(dǎo)體 MOCVD 設(shè)備使用該潤(rùn)滑方案后,軸承的維護(hù)周期從 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 14 個(gè)月,每年可節(jié)省設(shè)備維護(hù)成本約 120 萬(wàn)元,同時(shí)減少了因潤(rùn)滑問(wèn)題導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。

推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級(jí)推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預(yù)緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)量控制在 3μm 以內(nèi)。在某電子束蒸發(fā)設(shè)備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動(dòng)不超過(guò) 5nm,滿足光學(xué)薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導(dǎo)致的應(yīng)力集中,使軸向載荷均勻分布。巴頓分子泵軸承:強(qiáng)化潤(rùn)滑系統(tǒng),提高運(yùn)轉(zhuǎn)效率。

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壽命保障優(yōu)勢(shì):科學(xué)設(shè)計(jì)延長(zhǎng)使用周期,基于 ISO 281 標(biāo)準(zhǔn),新巴頓對(duì)分子泵軸承的壽命計(jì)算模型進(jìn)行優(yōu)化,將安全系數(shù)提升至 4 倍,使得 7010C 型號(hào)軸承的 L10 壽命(90% 可靠性壽命)達(dá)到 15000 小時(shí),超出行業(yè)平均水平 2.5 倍 。通過(guò)加速壽命試驗(yàn)(在 1.8 倍額定載荷下持續(xù)運(yùn)行 600 小時(shí))驗(yàn)證,某批次軸承的存活率高達(dá) 99%,完全滿足 SEMI 設(shè)備的可靠性要求。某晶圓制造工廠采用新巴頓軸承后,設(shè)備的非計(jì)劃停機(jī)率從 10% 下降至 1.5%,極大地提高了生產(chǎn)連續(xù)性,降低了因停機(jī)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失。巴頓分子泵軸承:優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提高產(chǎn)品承載能力。浦東新區(qū)巴頓C1608X205Y32分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:精密制造行業(yè)的佼佼者。巴頓C1907X205Y15分子泵軸承供應(yīng)

在機(jī)械行業(yè)中,分子泵軸承是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的主要部件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)設(shè)備等領(lǐng)域。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司的分子泵軸承,針對(duì)機(jī)械行業(yè)高轉(zhuǎn)速、低摩擦的工況需求,采用特殊材料與精密加工工藝。例如在半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備中,分子泵需維持 10??Pa 以下的高真空度,該軸承通過(guò)優(yōu)化滾道設(shè)計(jì),可承受高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力,同時(shí)降低發(fā)熱損耗,確保泵體長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。其適配的機(jī)械類型涵蓋渦輪分子泵、復(fù)合分子泵等,能滿足不同真空系統(tǒng)對(duì)軸承可靠性的嚴(yán)苛要求,為機(jī)械行業(yè)的真空工藝提供基礎(chǔ)保障。巴頓C1907X205Y15分子泵軸承供應(yīng)

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