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松江區(qū)S102SSAT3G33分子泵軸承

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-16

某 12 英寸晶圓廠(chǎng)的刻蝕機(jī)配備 4 臺(tái) 2000L/s 分子泵,原采用進(jìn)口鋼制軸承,平均每 6 個(gè)月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長(zhǎng)至 24 個(gè)月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線(xiàn)的非計(jì)劃停機(jī)率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護(hù)成本 120 萬(wàn)元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過(guò)在保持架中嵌入石墨自潤(rùn)滑塊,解決了金屬有機(jī)化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問(wèn)題,使設(shè)備連續(xù)運(yùn)行時(shí)間突破 10000 小時(shí)。具備智能監(jiān)測(cè)功能,新巴頓分子泵軸承實(shí)時(shí)掌握運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),保障安全。松江區(qū)S102SSAT3G33分子泵軸承

分子泵軸承

為適配機(jī)械行業(yè)的智能化趨勢(shì),新巴頓分子泵軸承可集成傳感器模塊。內(nèi)置溫度傳感器(精度 ±1℃)、加速度傳感器(量程 ±50g),通過(guò) IoT 網(wǎng)關(guān)將數(shù)據(jù)傳輸至云端平臺(tái),實(shí)現(xiàn)軸承狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控(如溫度曲線(xiàn)、振動(dòng)趨勢(shì))。在智能工廠(chǎng)的真空系統(tǒng)中,該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可與 PLC 聯(lián)動(dòng),當(dāng)軸承溫度超過(guò)閾值時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)備用泵,避免機(jī)械故障導(dǎo)致的產(chǎn)線(xiàn)停擺。數(shù)據(jù)接口支持 OPC UA、MQTT 等協(xié)議,無(wú)縫集成至工業(yè) 4.0 系統(tǒng),為機(jī)械行業(yè)的預(yù)測(cè)性維護(hù)提供數(shù)據(jù)支撐,將軸承維護(hù)成本降低 25% 以上。C36STAY52分子泵軸承中國(guó)一級(jí)代理巴頓分子泵軸承:高速旋轉(zhuǎn),無(wú)懼摩擦。

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針對(duì)機(jī)械行業(yè)的噪聲控制需求,新巴頓對(duì)分子泵軸承進(jìn)行噪聲頻譜優(yōu)化。通過(guò)頻譜分析發(fā)現(xiàn),軸承噪聲主要來(lái)自滾動(dòng)體打滑(1000-3000Hz)和保持架碰撞(5000-8000Hz),因此采用橢圓滾子修形(修形量 0.01-0.03mm)降低打滑率,保持架采用鏤空式設(shè)計(jì)(質(zhì)量減輕 20%)減少碰撞能量。在紡織機(jī)械的真空吸風(fēng)機(jī)中,優(yōu)化后的軸承噪聲從 75dB 降至 62dB,符合車(chē)間噪聲≤85dB 的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。噪聲測(cè)試在半消聲室(本底噪聲≤30dB)中進(jìn)行,通過(guò) 1/3 倍頻程分析,確保各頻段噪聲均低于行業(yè)限值,為機(jī)械操作人員創(chuàng)造更舒適的工作環(huán)境。

動(dòng)態(tài)平衡優(yōu)勢(shì):高精度平衡提升穩(wěn)定性,新巴頓運(yùn)用雙面平衡機(jī)對(duì)軸承 - 轉(zhuǎn)子系統(tǒng)進(jìn)行整體平衡處理,嚴(yán)格按照 G0.4 級(jí)平衡精度(ISO 1940 標(biāo)準(zhǔn))執(zhí)行,將殘余不平衡量控制在 0.3g?mm/kg 以?xún)?nèi)。對(duì)于 12kg 的轉(zhuǎn)子,經(jīng)平衡優(yōu)化后,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的離心力波動(dòng)可控制在 ±3N 以?xún)?nèi),振動(dòng)加速度降低至 2.5m/s2 。某科研用分子泵設(shè)備經(jīng)此平衡處理后,運(yùn)行噪聲從 82dB 降至 65dB,不僅滿(mǎn)足了 ISO 11683 中精密機(jī)械的噪聲要求,還大幅提高了設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性,延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命。巴頓分子泵軸承專(zhuān)業(yè)定制服務(wù),滿(mǎn)足個(gè)性化需求。

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新巴頓為機(jī)械行業(yè)用戶(hù)提供定制化分子泵軸承解決方案。根據(jù)特殊工況(如高真空 10??Pa、強(qiáng)輻射環(huán)境),可設(shè)計(jì)全陶瓷軸承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于核聚變實(shí)驗(yàn)設(shè)備。對(duì)于超高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>100000rpm),采用空氣靜壓軸承設(shè)計(jì),通過(guò)高壓空氣(壓力 0.4-0.6MPa)形成氣膜支撐,摩擦系數(shù)低至 0.0005,滿(mǎn)足機(jī)械行業(yè)的極端工況需求。定制化過(guò)程中,工程師會(huì)通過(guò)有限元分析(FEA)優(yōu)化軸承結(jié)構(gòu),如在大型分子泵中增加加強(qiáng)筋設(shè)計(jì),使軸承座的固有頻率避開(kāi)運(yùn)轉(zhuǎn)頻率 ±20%,避免機(jī)械共振。巴頓分子泵軸承:適應(yīng)高速運(yùn)轉(zhuǎn),確保系統(tǒng)穩(wěn)定。蘇州VAC626AC003分子泵軸承

高效節(jié)能設(shè)計(jì),讓新巴頓分子泵軸承降低運(yùn)行成本更明顯。松江區(qū)S102SSAT3G33分子泵軸承

新巴頓自主研發(fā)的微量油氣潤(rùn)滑系統(tǒng),將潤(rùn)滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統(tǒng)脂潤(rùn)滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問(wèn)題的產(chǎn)生。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑脂,其揮發(fā)分含量低于 0.08%,滿(mǎn)足 ISO 14644-1 Class 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),即便在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,依然能保持穩(wěn)定的潤(rùn)滑性能。某半導(dǎo)體 MOCVD 設(shè)備使用該潤(rùn)滑方案后,軸承的維護(hù)周期從 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 14 個(gè)月,每年可節(jié)省設(shè)備維護(hù)成本約 120 萬(wàn)元,同時(shí)減少了因潤(rùn)滑問(wèn)題導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。松江區(qū)S102SSAT3G33分子泵軸承

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