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光學(xué)鍍膜機(jī)主要分為真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、濺射鍍膜機(jī)和離子鍍鍍膜機(jī)等類型。真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，操作方便，成本較低。它通過加熱鍍膜材料使其蒸發(fā)，然后在基底表面凝結(jié)成膜。這種鍍膜機(jī)適用于鍍制一些對(duì)膜層均勻性要求不是特別高的簡(jiǎn)單光學(xué)薄膜，如普通的單層減反射膜。濺射鍍膜機(jī)則利用離子轟擊靶材，使靶材原子濺射到基底上形成薄膜。其優(yōu)勢(shì)在于能夠精確控制膜層的厚度和成分，膜層附著力強(qiáng)，可用于鍍制各種金屬膜、合金膜以及化合物膜，普遍應(yīng)用于高精度光學(xué)元件的鍍膜。離子鍍鍍膜機(jī)結(jié)合了蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍膜的優(yōu)點(diǎn)，在鍍膜過程中引入離子束，使沉積的膜層更加致密、均勻，并且可以在較低溫度下進(jìn)行鍍膜，適合對(duì)溫度敏感的基底材...

光學(xué)鍍膜機(jī)主要基于物理了氣相沉積（PVD）或化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)來實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜的制備。在 PVD 過程中，常見的有真空蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍膜。真空蒸發(fā)鍍膜是將鍍膜材料在高真空環(huán)境下加熱至蒸發(fā)狀態(tài)，蒸發(fā)的原子或分子在基底表面凝結(jié)形成薄膜。例如，鍍制金屬膜時(shí)，將金屬絲或片加熱，使其原子逸出并沉積在鏡片等基底上。濺射鍍膜則是利用離子源產(chǎn)生的高能離子轟擊靶材，使靶材原子濺射出并沉積到基底上，這種方式能更好地控制膜層質(zhì)量和成分，適用于多種材料鍍膜。CVD 技術(shù)是通過化學(xué)反應(yīng)在基底表面生成薄膜，如利用氣態(tài)前驅(qū)體在高溫或等離子體作用下發(fā)生反應(yīng)，形成氧化物、氮化物等薄膜。光學(xué)鍍膜機(jī)通過精確控制鍍膜室內(nèi)的真空...