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來源: 發(fā)布時間:2021-11-10

非晶硅薄膜的制備方法   非晶硅薄膜的制備方法有很多,如低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD),等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD),直流(射頻)磁控濺射等。生長多晶硅薄膜的方法有:化學(xué)氣相沉積包括低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、大氣壓強化學(xué)氣相沉積(APCVD)、等離子體化學(xué)氣相沉積(PCVD)以及液相生長、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高溫)退火的條件下,使固態(tài)非晶硅薄膜的硅原子被、重組,從而轉(zhuǎn)化為多晶硅薄膜。它的特點是非晶固體發(fā)生晶化的溫度低于其熔融后結(jié)晶的溫度。常規(guī)高溫爐退火、快速熱退火、金屬誘導(dǎo)晶化、微波誘導(dǎo)晶化等都屬于固相晶化的范疇。本文采用PECVD 和磁控濺射方法在不同的條件下制備了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高溫退火和激光誘導(dǎo)晶化的方式,利用X- 射線衍射及拉曼光譜,對制備的非晶硅薄膜晶化過程進行了系統(tǒng)地研究。一般情況下,金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高,靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物。南通鋁摻雜錳酸鑭靶價錢

中頻雙靶反應(yīng)磁控濺射與直流反應(yīng)磁控濺射相比具有以下幾個顯巨優(yōu)點:   (1)消除了靶面打弧放電現(xiàn)象,中頻反應(yīng)磁控濺射鍍制的絕緣薄膜與直流反應(yīng)磁控濺射鍍制的同種膜相比,膜面缺 陷要少幾個數(shù)量級;   (2)可以得到比直流反應(yīng)磁控濺射高出數(shù)倍的濺射沉積速率;   (3)中頻雙靶反應(yīng)磁控濺射的整個濺射沉積過程,可以始終穩(wěn)定在所設(shè)定的工作點上,為大規(guī)模工業(yè)化穩(wěn)定生產(chǎn)提供了條件。   選用非對稱雙極脈沖靶電源與選用“雙靶-中頻靶電源”不同,使用單個磁控靶進行反應(yīng)磁控濺射,調(diào)節(jié)相應(yīng)的鍍膜工藝參數(shù),可以消除磁控靶面打弧放電現(xiàn)象和實現(xiàn)長時間穩(wěn)定的薄膜沉積,可以達到上述“中頻-雙靶反應(yīng)磁控濺射”的同樣效果。揚州鋁鉻靶價錢由于所使用冷卻水的潔凈程度和設(shè)備運行過程中可能會產(chǎn)生的污垢會沉積在陰極冷卻水槽內(nèi)。

濺射靶材的制備

濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類,除嚴格控制材料純度、致密度、晶粒度以及結(jié)晶取向之外,對熱處理條件、后續(xù)加工方法等亦需加以嚴格控制。

一、粉末冶金法

粉末冶金法制備靶材時,其關(guān)鍵在于:(1)選擇高純、超細粉末作為原料;(2)選擇能實現(xiàn)快速致密化的成形燒結(jié)技術(shù),以保證靶材的低孔隙率,并控制晶粒度;(3)制備過程嚴格控制雜質(zhì)元素的引入。

二、熔融鑄造法

熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。為保證鑄錠中雜質(zhì)元素含量盡可能低,通常其冶煉和澆注在真空或保護性氣氛下進行。但鑄造過程中,材料組織內(nèi)部難免存在一定的孔隙率,這些孔隙會導(dǎo)致濺射過程中的微粒飛濺,從而影響濺射薄膜的質(zhì)量。為此,需要后續(xù)熱加工和熱處理工藝降低其孔隙率。

NCVM不導(dǎo)電膜是什么,它有哪些特點? NCVM又稱不連續(xù)鍍膜技術(shù)或不導(dǎo)電電鍍技術(shù),是一種起緣普通真空電鍍的高新技術(shù)。真空電鍍,簡稱VM,是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下,運用化學(xué)、物理等特定手段進行有機轉(zhuǎn)換,使金屬轉(zhuǎn)換成粒子,沉積或吸附在塑膠材料的表面,形成膜,也就是我們所謂的鍍膜。真空不導(dǎo)電電鍍,又稱NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍,其加工制程比普通制程要復(fù)雜得多。 NCVM特點是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜,利用各相不連續(xù)之特性,得到外觀有金屬質(zhì)感且不影響到無線通訊傳輸之效果。首先要實現(xiàn)不導(dǎo)電,滿足無線通訊產(chǎn)品的正常使用;其次要保證“金屬質(zhì)感”這一重要的外觀要求;通過UV涂料與鍍膜層結(jié)合,保證產(chǎn)品的物性和耐候性,滿足客戶需求。純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。

靶材安裝及注意事項有哪些?

濺射靶材安裝過程中**重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射***冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發(fā)生開裂或彎曲,背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會受到很大的影響,導(dǎo)致在濺射過程中熱量無法散發(fā)**終會造成靶材開裂或脫靶。

為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意一定要仔細檢查和明確所使用濺射***冷卻壁的平整度,同時確保O型密封圈始終在位置上。

由于所使用冷卻水的潔凈程度和設(shè)備運行過程中可能會產(chǎn)生的污垢會沉積在陰極冷卻水槽內(nèi),所以在安裝靶材時需要對陰極冷卻水槽進行檢查和清理,確保冷卻水循環(huán)的順暢和進出水口不會被堵塞。 同時還司進行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。揚州鋁鉻靶價錢

通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。南通鋁摻雜錳酸鑭靶價錢

PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風(fēng)格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現(xiàn)了金屬材質(zhì)的精致、細膩。其粉紅、玫瑰等暖色調(diào)給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風(fēng)格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅的氣質(zhì)。 玫瑰金顏色近幾年在手表行業(yè)非常流行,很多品牌都采用PVD在不銹鋼表殼和表帶上沉積玫瑰金涂層的方式進行,行業(yè)內(nèi)叫IP玫瑰金,其工藝已經(jīng)非常成熟。玫瑰金鍍層一般有仿金層和玫瑰金層構(gòu)成,底層的仿金層一般為TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。南通鋁摻雜錳酸鑭靶價錢

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