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來源: 發(fā)布時間:2021-09-30

在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,配置有保管收納半導(dǎo)體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲庫。存儲庫具備用于在多個保管架與交接口之間移載物品的起重機(jī)。作為該起重機(jī)公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機(jī),為了提高物品的移載效率,提出了兩種懸掛式起重機(jī)在共用的軌道上行駛的構(gòu)成(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:國際公開第2016/178347號對于文獻(xiàn)1所記載的存儲庫,兩種懸掛式起重機(jī)雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲庫的一個存儲庫區(qū)域內(nèi)。因此,在使該懸掛式起重機(jī)向其它的存儲庫區(qū)域移動時,或者為了維護(hù)而使懸掛式起重機(jī)向維護(hù)區(qū)域移動時,需要從軌道取下并搬運(yùn)懸掛式起重機(jī)。但是,從軌道取下懸掛式起重機(jī)的作業(yè)麻煩且費事,作業(yè)者的負(fù)擔(dān)大。并且,由于使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)已取下的懸掛式起重機(jī),所以不僅成本提高,而且存在搬運(yùn)也需要時間這樣的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機(jī)在存儲庫區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動而不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:被配置于存儲庫區(qū)域內(nèi)的存儲庫。錫山區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州貨車商鋪搬運(yùn)價錢

    以規(guī)定的速度使升降臺33下降或者上升。另外,驅(qū)動部35b被控制裝置80等控制,將升降臺33保持在目標(biāo)的高度。升降驅(qū)動部35雖被設(shè)置于上部支承體37(起重機(jī)用行駛部31),但并不限于該結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動部35例如也可被設(shè)置于升降臺33。作為升降驅(qū)動部35被設(shè)置于升降臺33的構(gòu)成例如,也可以將從上部支承體37吊掛下來的帶狀物或者線材等通過搭載于升降臺33的升降機(jī)等進(jìn)行卷繞或抽出而使升降臺33升降。另外,也可將驅(qū)動小齒輪的電動馬達(dá)等搭載于升降臺33,將該小齒輪嚙合的齒條形成于桅桿32,驅(qū)動電動馬達(dá)等使小齒輪旋轉(zhuǎn),由此使升降臺33升降。如圖1~圖3所示,高架搬運(yùn)車軌道40被配置于存儲庫區(qū)域10a外。高架搬運(yùn)車軌道40沿著處理裝置tl的裝載端口lp設(shè)置,延伸到存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b。高架搬運(yùn)車軌道40除了懸掛式起重機(jī)30的載入時都被設(shè)置于在高架搬運(yùn)車50的運(yùn)轉(zhuǎn)中允許作業(yè)者的通行的作業(yè)者通路10g的上方。另外,懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠在高架搬運(yùn)車軌道40行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠使在作業(yè)者的進(jìn)入被禁止的作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域10f內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)的懸掛式起重機(jī)30、經(jīng)由被設(shè)置于作業(yè)者的通行被允許的作業(yè)者通路10g上的高架搬運(yùn)車軌道40而適當(dāng)?shù)匾苿?。錫山區(qū)寫字樓商鋪搬運(yùn)公司電話濱湖區(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    穿梭車、提升機(jī)、堆垛機(jī)、機(jī)器人等。1.離散式搬運(yùn)的效率由離散式搬運(yùn)的特點,可以得知,離散式搬運(yùn)系統(tǒng)的整體效率由如下幾個方面的因素決定:搬運(yùn)設(shè)備的速度v搬運(yùn)設(shè)備的單次承載量l搬運(yùn)設(shè)備的數(shù)量n離散式搬運(yùn)系統(tǒng)的整體效率正比于v,l,n。其中搬運(yùn)設(shè)備的數(shù)量較為特殊,與v和l不同的是,v和l只關(guān)乎單個搬運(yùn)設(shè)備自身的參數(shù),而n隨著數(shù)量的變化帶來的效率低變化并非也直接是n倍的變化,因為設(shè)備與設(shè)備之間會互現(xiàn)制約和印象,設(shè)備在運(yùn)行期間都會占用一定的公共資源,比如通道、收貨接駁權(quán)利,送貨接駁權(quán)利等等,因此n個設(shè)備的整體效率會小于n倍。設(shè)備與設(shè)備之間的制約往往會帶來等待,搬運(yùn)設(shè)備繞行等等的影響。2.離散搬運(yùn)效率的計算A點到B點離散搬運(yùn)效率對于離散搬運(yùn)系統(tǒng)的效率計算,簡單直觀的方法是讓搬運(yùn)設(shè)備連續(xù)不停的搬運(yùn),將物料從A點搬運(yùn)到B點。在B點觀察并數(shù)數(shù),可以在一定的時間T內(nèi)數(shù)總共到被搬運(yùn)到B點有多少個物料單元。時間T取的越長,效率評價越客觀。比如在8個工時內(nèi),從工位A點搬運(yùn)到達(dá)倉庫有800個料箱,那入庫的平均效率可以計算得出100個料箱/小時。而大部分情況下,我們無法按照像上邊的情形供我們?nèi)ガF(xiàn)場真的去數(shù)數(shù)。

    如圖10所示,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外,針對該保管部220(或者交接端口230),、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是,在該結(jié)構(gòu)中,高架搬運(yùn)車50無法針對裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面,、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,如圖10所示,也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個保管部320,并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對保管架80的保管部320,、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,針對保管架80的上表面80a的交接端口330,、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外,在圖10中,示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,但也可以代替該結(jié)構(gòu)?;萆絽^(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    可以區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道是環(huán)繞軌道,起重機(jī)和高架搬運(yùn)車在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛,第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛。另外,可以交接端口和第二交接端口配置于保管部和第二保管部各自的上層。另外,本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)方法是如下搬運(yùn)系統(tǒng)的搬運(yùn)方法,上述搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置;區(qū)段間頂棚軌道,其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié);保管部和第二保管部,它們在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層,并用于保管物品;交接端口和第二交接端口,它們設(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方;起重機(jī),其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導(dǎo)而升降的移送部;第二起重機(jī),其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部;以及高架搬運(yùn)車。濱湖區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。江陰專業(yè)商鋪搬運(yùn)公司哪家好

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    通常沿著存儲庫區(qū)域10a內(nèi)的起重機(jī)軌道20行駛并且在存儲庫區(qū)域10a內(nèi)在保管部11與交接口12之間移載物品的懸掛式起重機(jī)30,根據(jù)需要能夠經(jīng)由以及第二連結(jié)軌道60a、60b以及高架搬運(yùn)車軌道40而移動到存儲庫區(qū)域10a外的規(guī)定區(qū)域(存儲庫區(qū)域10b)。根據(jù)該結(jié)構(gòu),不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備就能夠容易且不花費時間地使懸掛式起重機(jī)30在存儲庫區(qū)域10a內(nèi)與規(guī)定區(qū)域(存儲庫區(qū)域10b)之間移動。其結(jié)果是,不需要從軌道取下懸掛式起重機(jī)30這樣的麻煩的作業(yè),并且也不需要用于搬運(yùn)已被取下的懸掛式起重機(jī)30的特殊的搬運(yùn)設(shè)備,所以能夠抑制成本的增加。在上述實施方式中,以規(guī)定區(qū)域是其它存儲庫區(qū)域10b的情況為例進(jìn)行了說明,但并不限于該結(jié)構(gòu)。圖11以及圖12是表示規(guī)定區(qū)域的其它例子的圖。在以下的說明中,對于上述實施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的符號并省略或者簡化說明。如圖11所示,規(guī)定區(qū)域也可是維護(hù)區(qū)域10c。維護(hù)區(qū)域10c具有起重機(jī)軌道20c、以及多個維護(hù)裝置mn。多個維護(hù)裝置mn沿著起重機(jī)軌道20c配置。在該結(jié)構(gòu)中,在使懸掛式起重機(jī)30從存儲庫區(qū)域10a向維護(hù)區(qū)域10c移動的情況下,與上述實施方式相同。徐州貨車商鋪搬運(yùn)價錢

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