供人員或者其他設(shè)備通過2.可以局部移動(dòng)，以臨時(shí)騰開公共空間供第三方使用3.可以提升到一定高度，將公共資源空間讓出來供第三方使用不好擴(kuò)展離散式的搬運(yùn)系統(tǒng)，如果效率箱想進(jìn)一步提升，或者接駁方式要改變，可以通過增加單體離散搬運(yùn)設(shè)備數(shù)量和改造裝載方式即可實(shí)現(xiàn)。而對于連續(xù)性搬運(yùn)設(shè)備而言，卻很難實(shí)現(xiàn)。借鑒離散型搬運(yùn)系統(tǒng)中由單個(gè)搬運(yùn)設(shè)備組成的特點(diǎn)，可以將連續(xù)搬運(yùn)設(shè)備采用模塊化的設(shè)計(jì)?？偨Y(jié)：一個(gè)完整的自動(dòng)化倉儲(chǔ)物流系統(tǒng)，不會(huì)只由一種搬運(yùn)形式所組成，往往是由多個(gè)離散式搬運(yùn)子系統(tǒng)和連續(xù)式搬運(yùn)子系統(tǒng)利用各自的優(yōu)勢和特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)整個(gè)系統(tǒng)的功能。目前某些前沿的面向未來的廠內(nèi)物流自動(dòng)化技術(shù)在研究如何將離散和連續(xù)各自的優(yōu)勢結(jié)合到一起形成既有柔性、機(jī)動(dòng)性，又能高搬運(yùn)效率的綜合搬運(yùn)系統(tǒng)。比如配置有滾筒的智能搬運(yùn)小車，為了提高搬運(yùn)效率，可以自行拼接成連續(xù)搬運(yùn)的滾筒輸送線。再比如德國研發(fā)的Celluveyor，使輸送機(jī)不再是固定的一成不變的輸送裝置，而是采用模塊化的設(shè)計(jì)，使其更加靈活，搬運(yùn)路徑和方式可變。另外，以上的討論的搬運(yùn)都是建立在以電機(jī)驅(qū)動(dòng)的形式下而展開的，實(shí)際應(yīng)用中的搬運(yùn)也有通過氣動(dòng)的方式來搬運(yùn)的。錫山區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫正規(guī)商鋪搬運(yùn)服務(wù)
參照圖6)。因此，起重機(jī)用行駛部31或者搬運(yùn)車用行駛部51能夠無障礙地在以及第二連結(jié)軌道60a、60b行駛。這樣，將上述軌道設(shè)為相同的剖面形狀，由此能夠?qū)崿F(xiàn)軌道的標(biāo)準(zhǔn)化，能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。在上述搬運(yùn)系統(tǒng)100中，懸掛式起重機(jī)30在存儲(chǔ)庫區(qū)域10a或者存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)，沿著起重機(jī)軌道20行駛，在保管部11與交接口12之間搬運(yùn)物品2。例如，懸掛式起重機(jī)30能夠通過物品移載部34(參照圖4)接受被保管部11保管的物品2，沿著起重機(jī)軌道20行駛至交接口12，將物品2載置于交接口12。另外，在利用高架搬運(yùn)車50將物品2載置于交接口12的情況下，懸掛式起重機(jī)30能夠沿著起重機(jī)軌道20行駛到交接口12，利用物品移載部34接受物品2之后，沿著起重機(jī)軌道20行駛到移載目的地的保管部11，通過物品移載部34將物品2載置于保管部11。另外，在搬運(yùn)系統(tǒng)100中，高架搬運(yùn)車50在利用懸掛式起重機(jī)30將物品2載置在交接口12的情況下，沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲(chǔ)庫區(qū)域10a的交接口12。然后，能夠由物品保持部53(參照圖5)保持物品2，在高架搬運(yùn)車軌道40行駛，由此將物品2搬運(yùn)到其它存儲(chǔ)庫區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st，在他們各自處載置物品2。另外。新吳區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)價(jià)錢梁溪區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
具體實(shí)施方式以下，參照附圖對實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中，使用xyz坐標(biāo)系對圖中的方向進(jìn)行說明。在該xyz坐標(biāo)系中，將鉛直方向設(shè)為z方向，將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向，是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關(guān)于x、y、z方向的各方向，適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如，+x側(cè))，將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如，-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等，對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中，使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外，搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中。
所述存儲(chǔ)庫具備：在上下方向設(shè)置多層來保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿著保管部以及交接口設(shè)置的起重機(jī)軌道、沿著起重機(jī)軌道行駛的起重機(jī)用行駛部、從起重機(jī)用行駛部垂下的桅桿、以及具有被桅桿引導(dǎo)地升降的物品移載部并且在保管部與交接口之間搬運(yùn)物品的懸掛式起重機(jī)；高架搬運(yùn)車軌道，其被設(shè)置于存儲(chǔ)庫區(qū)域之外，沿著交接口以及處理裝置的裝載端口延伸至規(guī)定區(qū)域；高架搬運(yùn)車，其具有沿著高架搬運(yùn)車軌道行駛的搬運(yùn)車用行駛部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在交接口與裝載端口之間搬運(yùn)物品；以及連結(jié)軌道，其連結(jié)起重機(jī)軌道與高架搬運(yùn)車軌道，所述搬運(yùn)方法包含以下步驟：使起重機(jī)用行駛部從起重機(jī)軌道通過連結(jié)軌道進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道，在高架搬運(yùn)車軌道行駛至規(guī)定區(qū)域，或者使起重機(jī)用行駛部從規(guī)定區(qū)域進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道行駛至連結(jié)軌道，通過連結(jié)軌道進(jìn)入起重機(jī)軌道而在起重機(jī)軌道行駛。根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法，通常沿著存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)的起重機(jī)軌道行駛并且在存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)在保管部與交接口之間移載物品的懸掛式起重機(jī)能夠根據(jù)需要，通過連結(jié)軌道以及高架搬運(yùn)車軌道移動(dòng)到存儲(chǔ)庫區(qū)域外的規(guī)定區(qū)域。根據(jù)該結(jié)構(gòu)。錫山區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子。如圖1和圖2所示，處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個(gè)。沿y方向排列的多個(gè)、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個(gè)、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個(gè)例子，也可以是其他配置。另外，并不限定于、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp，也可以具備一處或者三處以上。另外，在制造工廠等中配置用于暫時(shí)保管物品2的、第二保管區(qū)域sa1、sa2。保管區(qū)域sa1與處理裝置tl1對應(yīng)設(shè)置。濱湖區(qū)長途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。新吳區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)價(jià)錢
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行駛部41a能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。第二起重機(jī)40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛。即，第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，、第二起重機(jī)40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動(dòng)。、第二升降臺(tái)43a、43b在下表面?zhèn)劝惭b有、第二移送部44a、44b，并被、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而能夠升降。、第二升降臺(tái)43a、43b具備與、第二桅桿42a、42b的表面接觸的未圖示的引導(dǎo)滾子，從而順利地進(jìn)行沿著、第二桅桿42a、42b的升降動(dòng)作。另外，在、第二桅桿42a、42b的下部設(shè)置有未圖示的下部支承體，、第二升降臺(tái)43a、43b能夠下降至在該下部支承體上抵接的位置。此外，下部支承體防止、第二升降臺(tái)43a、43b從、第二桅桿42a、42b向下方脫落。無錫正規(guī)商鋪搬運(yùn)服務(wù)
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