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晶圓加工砂輪制程工藝

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-20

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,超薄晶圓的需求持續(xù)增長(zhǎng)。這對(duì)襯底粗磨減薄砂輪提出了更高的挑戰(zhàn)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢(shì),致力于研發(fā)更先進(jìn)的砂輪技術(shù)和制造工藝。我們通過(guò)與高校、科研機(jī)構(gòu)的合作,不斷探索新的磨料、結(jié)合劑和制備技術(shù),以提高砂輪的磨削效率和加工質(zhì)量。同時(shí),我們還注重環(huán)保型砂輪的研發(fā)和推廣,積極響應(yīng)國(guó)家對(duì)于綠色制造的號(hào)召。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。從材料選擇到工藝控制,優(yōu)普納科技嚴(yán)格把關(guān)每一個(gè)環(huán)節(jié),確保碳化硅晶圓減薄砂輪的優(yōu)越品質(zhì)和穩(wěn)定性能。晶圓加工砂輪制程工藝

晶圓加工砂輪制程工藝,砂輪

在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,精度是衡量產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,憑借其專(zhuān)研的強(qiáng)度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑和多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)極高的加工精度。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,無(wú)論是6吋還是8吋的SiC線割片,加工后的表面粗糙度Ra值均能達(dá)到納米級(jí)別,總厚度變化TTV控制在微米級(jí)別以內(nèi)。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,還為優(yōu)普納在國(guó)產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場(chǎng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使其成為高精度加工的代名詞。晶圓制造砂輪更換周期通過(guò)優(yōu)化砂輪的顯微組織結(jié)構(gòu),優(yōu)普納產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)高研削性能和良好的散熱效果,避免加工過(guò)程中的熱損傷。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的低損耗特性,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長(zhǎng)時(shí)間的加工過(guò)程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長(zhǎng)。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性價(jià)比,助力優(yōu)普納在國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。

江蘇優(yōu)普納碳化硅減薄砂輪憑借超細(xì)金剛石磨粒與高自銳性設(shè)計(jì),在第三代半導(dǎo)體晶圓加工中實(shí)現(xiàn)低損傷、低粗糙度的行業(yè)突破。以DISCO-DFG8640設(shè)備為例,精磨8吋SiC線割片時(shí),砂輪磨耗比達(dá)200%,表面粗糙度Ra≤3nm,TTV精度≤2μm,完全滿足5G芯片、功率器件對(duì)晶圓平整度的嚴(yán)苛要求。對(duì)比進(jìn)口砂輪,優(yōu)普納產(chǎn)品在相同加工條件下可減少磨削熱損傷30%,明顯提升晶圓良率,尤其適用于新能源汽車(chē)電驅(qū)模塊等高附加值領(lǐng)域。歡迎您的隨時(shí)致電咨詢。優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪,以高精度、低損耗,成為國(guó)產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場(chǎng)的先行者 推動(dòng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級(jí)。

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在科技日新月異的當(dāng)下,非球面微粉砂輪行業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新浪潮洶涌澎湃,江蘇優(yōu)普納科技有限公司始終勇立潮頭。在結(jié)合劑技術(shù)創(chuàng)新方面,公司取得了重大突破。例如,研發(fā)出一種新型復(fù)合結(jié)合劑,融合了樹(shù)脂結(jié)合劑的良好自銳性與金屬結(jié)合劑的高剛性。這種結(jié)合劑在保證磨粒牢固把持的同時(shí),極大地提升了砂輪的自銳性能,使砂輪在磨削過(guò)程中能始終保持高效切削狀態(tài),大幅提高了加工效率與表面質(zhì)量。在磨粒制備技術(shù)上,優(yōu)普納針對(duì)不同光學(xué)材料的加工特性,開(kāi)發(fā)出一系列定制化磨粒。對(duì)于硬度較高的光學(xué)玻璃材料,通過(guò)優(yōu)化金剛石微粉磨粒的粒徑、形狀及表面處理工藝,使其在磨削時(shí)能更高效地切入材料,降低磨削力,減少工件表面損傷風(fēng)險(xiǎn)。此外,在砂輪制造工藝上,引入先進(jìn)的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備與高精度檢測(cè)技術(shù)。自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)了對(duì)砂輪制造過(guò)程的精確控制,從磨粒與結(jié)合劑的混合比例到砂輪成型的每一個(gè)環(huán)節(jié),都能確保高度一致性;高精度檢測(cè)技術(shù)則對(duì)砂輪的各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),保證每一片出廠的砂輪都具備穩(wěn)定且優(yōu)越的性能,持續(xù)推動(dòng)非球面微粉砂輪技術(shù)邁向新高度,為行業(yè)發(fā)展注入源源不斷的活力。優(yōu)普納砂輪于東京精密-HRG200X減薄機(jī)上,對(duì)8吋SiC線割片進(jìn)行粗磨,磨耗比35%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。晶片砂輪參數(shù)

優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪,以高精度、低損耗和強(qiáng)適配性,成為推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級(jí)的重要力量。晶圓加工砂輪制程工藝

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪具備一系列優(yōu)越的產(chǎn)品特性,使其在市場(chǎng)中脫穎而出。首先是高耐磨性,砂輪所選用的磨粒,如針對(duì)第三代半導(dǎo)體材料的金剛石磨粒,具有極高的硬度和化學(xué)穩(wěn)定性,能夠在長(zhǎng)時(shí)間、強(qiáng)度高的磨削過(guò)程中保持磨粒的形狀和鋒利度,明顯延長(zhǎng)了砂輪的使用壽命。以SiC晶圓減薄為例,相比傳統(tǒng)砂輪,優(yōu)普納的產(chǎn)品可明顯降低砂輪的更換頻率,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。其次是高精度磨削能力,通過(guò)精確控制磨粒粒度分布和結(jié)合劑性能,砂輪能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的磨削精度,確保加工后的晶圓表面粗糙度極低,平面度極高,滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域?qū)ぜ砻尜|(zhì)量的嚴(yán)格要求。再者,砂輪具有良好的自銳性,在磨削過(guò)程中,當(dāng)磨粒磨損到一定程度時(shí),結(jié)合劑能及時(shí)釋放磨粒,新的鋒利磨粒迅速參與磨削,保證了磨削效率的穩(wěn)定性,避免因磨粒鈍化導(dǎo)致的加工質(zhì)量下降和效率降低。同時(shí),優(yōu)普納的精磨減薄砂輪還具備出色的散熱性能,在高速磨削過(guò)程中,能有效將磨削產(chǎn)生的熱量帶走,減少因熱變形對(duì)工件精度的影響,全方面保障了加工過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。晶圓加工砂輪制程工藝

標(biāo)簽: 砂輪 超精密機(jī)床
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