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碳化硅減薄砂輪案例

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-25

在半導(dǎo)體制造等精密加工領(lǐng)域,精磨減薄砂輪發(fā)揮著舉足輕重的作用。其工作原理基于磨料的磨削作用,通過砂輪高速旋轉(zhuǎn),磨粒與工件表面產(chǎn)生強(qiáng)烈摩擦,從而實(shí)現(xiàn)材料的去除與減薄。以江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪為例,在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導(dǎo)體材料的加工中,砂輪中的磨粒憑借自身極高的硬度,切入堅(jiān)硬且脆性大的半導(dǎo)體材料表面。磨粒的粒度分布經(jīng)過精心設(shè)計(jì),從粗粒度用于高效去除大量材料,到細(xì)粒度實(shí)現(xiàn)精密的表面修整,整個(gè)過程如同工匠精心雕琢藝術(shù)品。在磨削過程中,結(jié)合劑的作用不可或缺,它牢牢把持磨粒,使其在合適的時(shí)機(jī)發(fā)揮磨削功能,同時(shí)又能在磨粒磨損到一定程度時(shí),適時(shí)讓磨粒脫落,新的鋒利磨粒得以露出,這一過程被稱為砂輪的自銳性。優(yōu)普納的砂輪在結(jié)合劑的研發(fā)上投入大量精力,通過優(yōu)化結(jié)合劑配方,實(shí)現(xiàn)了磨粒把持力與自銳性的完美平衡,確保在長時(shí)間的磨削作業(yè)中,砂輪始終保持穩(wěn)定且高效的磨削性能,為半導(dǎo)體晶圓的高質(zhì)量減薄加工奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。碳化硅晶圓減薄砂輪超細(xì)金剛石磨粒與超高自銳性結(jié)合,實(shí)現(xiàn)高磨削效率與低損傷 表面粗糙度Ra≤3nm TTV≤2μm。碳化硅減薄砂輪案例

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襯底粗磨減薄砂輪的應(yīng)用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現(xiàn)破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和制造,具有優(yōu)異的端面跳動(dòng)和外圓跳動(dòng)控制,能夠在高轉(zhuǎn)速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產(chǎn)生的熱量,保護(hù)晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時(shí)致電咨詢~上海砂輪參數(shù)優(yōu)普納科技的碳化硅晶圓減薄砂輪,通過持續(xù)的技術(shù)改進(jìn)和工藝優(yōu)化,不斷提升產(chǎn)品性能 滿足日益增長市場需求。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的**低損耗特性**,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時(shí)間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性價(jià)比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢。

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的強(qiáng)度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑通過納米級(jí)陶瓷相復(fù)合技術(shù),明顯提升砂輪抗沖擊性與耐磨性。在6吋SiC襯底粗磨中,砂輪磨耗比低至11%,且無邊緣崩缺現(xiàn)象,TTV精度穩(wěn)定≤3μm。該技術(shù)尤其適用于碳化硅等高硬度材料加工,對比傳統(tǒng)樹脂結(jié)合劑砂輪,壽命延長50%,減少設(shè)備停機(jī)換輪頻率,助力客戶實(shí)現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。在DISCO-DFG8640減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,優(yōu)普納砂輪對6吋SiC線割片進(jìn)行粗磨,磨耗比11%,Ra≤30nm TTV≤3μm。

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作為激光改質(zhì)層減薄砂輪的專業(yè)制造商,江蘇優(yōu)普納科技有限公司憑借先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)團(tuán)隊(duì),在行業(yè)內(nèi)樹立了良好的口碑。我們致力于研發(fā)高性能的磨削工具,以滿足客戶在不同加工領(lǐng)域的需求。公司擁有一系列自主研發(fā)的激光改質(zhì)技術(shù),能夠根據(jù)客戶的具體要求,提供定制化的砂輪解決方案。此外,江蘇優(yōu)普納科技有限公司注重與客戶的溝通與合作,提供全方面的技術(shù)支持和服務(wù),確??蛻粼谑褂梦覀兊漠a(chǎn)品時(shí)能夠獲得更佳的加工效果。我們相信,憑借我們的技術(shù)優(yōu)勢和服務(wù)理念,江蘇優(yōu)普納科技有限公司將在激光改質(zhì)層減薄砂輪市場中繼續(xù)保持先進(jìn)地位。優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪,以技術(shù)創(chuàng)新為主,不斷突破性能瓶頸,為國產(chǎn)半導(dǎo)體材料加工提供有力支持。襯底砂輪適配設(shè)備

優(yōu)普納砂輪的多孔顯微組織設(shè)計(jì),有效提升研削性能,同時(shí)確保良好的散熱效果,避免加工過程中的熱損傷。碳化硅減薄砂輪案例

在第三代半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域,江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪憑借其高精度加工能力脫穎而出。采用專研的強(qiáng)度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑,砂輪在磨削過程中展現(xiàn)出優(yōu)越的穩(wěn)定性,能夠有效減少振動(dòng),確保加工后的晶圓表面粗糙度極低。無論是6吋還是8吋的SiC線割片,使用優(yōu)普納砂輪加工后,表面粗糙度Ra值均能達(dá)到納米級(jí)別,總厚度變化TTV控制在微米級(jí)別以內(nèi)。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,也為優(yōu)普納在國產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),助力其品牌形象進(jìn)一步鞏固。碳化硅減薄砂輪案例

標(biāo)簽: 砂輪 超精密機(jī)床
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