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汕頭正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-01-05

電鍍:

到這一步,晶圓基本上就完成了,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。

拋光:

然后將Wafer進(jìn)行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。

切割:

對(duì)晶圓進(jìn)行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的。

測(cè)試:

測(cè)試分為三大類(lèi):功能測(cè)試、性能測(cè)試、抗老化測(cè)試。大致測(cè)試模式如下:接觸測(cè)試、功耗測(cè)試、輸入漏電測(cè)試、輸出電平測(cè)試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試、模擬信號(hào)參數(shù)測(cè)試等等。全部測(cè)試都通過(guò)的,就是正片;部分測(cè)試未通過(guò),但正常使用無(wú)礙,這是白片;未開(kāi)始測(cè)試,就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,這是黑片。


柔性機(jī)械臂具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率。汕頭正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

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半導(dǎo)體行業(yè),尤其是集成電路領(lǐng)域,晶圓的身影隨處可見(jiàn)。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的。可見(jiàn),晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問(wèn)?來(lái)了——硅片為什么要做成圓的?為什么是“晶圓”,而不做成“晶方”?

要解釋這個(gè)問(wèn)題,有兩方面的原因:一方面似乎是由“基因決定的”;另一方面是“環(huán)境造成的”。 韶關(guān)庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理價(jià)錢(qián)直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有三個(gè)主自由度。

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技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:


本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問(wèn)題,本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。

可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),并通過(guò)與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地,所述絨毛為硅樹(shù)脂橡膠絨毛或聚酯樹(shù)膠絨毛。

可選地,所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,該真空吸附機(jī)械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái);設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記,提高了晶圓的合格率。機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢?

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割拋光:

單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割,然后進(jìn)行研磨,將凹凸的切痕磨掉,再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,晶圓片制造就完成了。

二,晶圓制造步驟

晶圓鍍膜:

通過(guò)物理或其他方式(如高溫等)使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅。二氧化硅為絕緣材料,但有雜質(zhì)和特殊處理的二氧化硅有一定的導(dǎo)電性。二氧化硅在這里的作用是為了傳導(dǎo)光。像是用二氧化硅做光導(dǎo)纖維是同一個(gè)道理。完成這步后就為后面光刻做好了準(zhǔn)備。

光刻膠涂抹:

顧名思義,就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠,而對(duì)其技術(shù)要求是要做到平整和薄。 觸手內(nèi)部分為許多小格子,通過(guò)壓縮空氣流動(dòng)來(lái)做出各種動(dòng)作,可以毫無(wú)傷害的握起螞蟻的腰部。汕頭正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性。汕頭正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

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