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安徽皮拉尼真空計設(shè)備公司

來源: 發(fā)布時間:2025-04-18

辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試,填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試,填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。真空計的讀數(shù)通常是不變的,這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準(zhǔn)儀器。安徽皮拉尼真空計設(shè)備公司

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2. 熱傳導(dǎo)真空計熱傳導(dǎo)真空計通過氣體熱傳導(dǎo)的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應(yīng)快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應(yīng)用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應(yīng)用:低真空和中真空測量。重慶高質(zhì)量真空計生產(chǎn)企業(yè)真空計的維修與保養(yǎng)。

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真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個力學(xué)量,為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa,直接測量這樣大的壓力是容易的,但在真空技術(shù)中,測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術(shù)中遇到的氣體壓力都很低,如有時要測10-10Pa的壓力,這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此,測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象,然后測量這個過程中與氣體壓力有關(guān)的某些物理量,再設(shè)法間接確定出真實壓力來。例如先將被測氣體壓縮,使其壓力增高,測出增高后的壓力,再根據(jù)壓縮比計算出原來的壓力值,這就是所謂的壓縮式真空計。也可以用一根熱絲,測量氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果,如熱絲溫度、電阻變化等,這就構(gòu)成熱傳導(dǎo)真空計。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離,用測得的離子流反應(yīng)壓力,這就是電離真空計。

真空計是用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,具有多種特點,使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計的主要特點:1. 寬量程適用:真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精度精確測量:現(xiàn)代真空計具有高精度,能提供準(zhǔn)確的真空度測量。高分辨率:能夠檢測到微小的壓力變化。3. 快速響應(yīng)實時監(jiān)測:真空計對壓力變化反應(yīng)迅速,適合需要實時監(jiān)測的應(yīng)用。動態(tài)測量:在快速變化的環(huán)境中,真空計能提供穩(wěn)定的測量結(jié)果。4. 環(huán)境適應(yīng)性耐高溫:部分真空計能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境,選擇耐腐蝕材料制成的真空計??刮廴荆涸谖廴練怏w環(huán)境中,部分真空計具有抗污染能力。5. 多種測量原理熱傳導(dǎo):如皮拉尼真空計,基于氣體熱傳導(dǎo)變化測量壓力。電離:如電離真空計,通過測量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來確定壓力。電容:如電容式真空計,通過測量電容變化來確定壓力。6. 易于安裝與維護多種安裝方式:提供法蘭連接、螺紋連接等多種安裝方式,適應(yīng)不同系統(tǒng)需求。易于維護:設(shè)計簡單,易于清潔和維護,部分真空計具有自校準(zhǔn)功能。什么是真空測量?真空如何測量?

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1. 機械式真空計機械式真空計通過物理形變或液柱高度差來測量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測量壓力。測量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點:精度較低,不適用于高真空。應(yīng)用:實驗室粗真空測量。(2)布爾登壓力計原理:利用金屬管(布爾登管)在壓力作用下的形變來測量壓力。測量范圍:大氣壓到約 10?3 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、耐用。缺點:精度有限,不適用于高真空。應(yīng)用:工業(yè)粗真空和低真空測量。真空計按原理可以分哪幾類?蘇州mems電容真空計設(shè)備廠家

為什么真空計讀數(shù)不變?安徽皮拉尼真空計設(shè)備公司

皮拉尼真空計是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導(dǎo)變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子傳導(dǎo)。壓力變化:氣體壓力越高,分子越多,熱傳導(dǎo)越強,金屬絲溫度下降。電阻變化:金屬絲溫度變化導(dǎo)致電阻變化,通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程:適用于低真空到中真空范圍(通常為10^-1 Pa到10^5 Pa)??焖夙憫?yīng):對壓力變化反應(yīng)迅速。結(jié)構(gòu)簡單:易于制造和維護。成本較低:相比其他真空計,價格較為經(jīng)濟。安徽皮拉尼真空計設(shè)備公司

標(biāo)簽: 真空計
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