半導(dǎo)體行業(yè)的VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴(kuò)散等。在這些工藝中要用有機(jī)溶液(如異丙醇)清洗晶片表面，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來源之一。同時，光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發(fā)性有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯，在晶片加工過程中也會揮發(fā)到大氣中，是有機(jī)廢氣的另一個來源。 半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機(jī)成分。在此過程中，這些有機(jī)溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前，吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附，蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，處理各種有機(jī)廢氣，并通過熱氧化將有機(jī)物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時焚燒也是一種處理廢氣的好方法，有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中，有機(jī)廢氣流被加熱，氣相中的有機(jī)物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用，通常使用熱交換器來回收焚燒產(chǎn)生的熱量，以預(yù)熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會產(chǎn)生SiO2，使催化劑鈍化，所以接觸氧化很少用于半導(dǎo)體行業(yè)。這個行業(yè)RTO投入運(yùn)行至今，已經(jīng)過去了40多年。青海旋轉(zhuǎn)式蓄熱式焚燒爐生產(chǎn)廠家
“VOCs治理工程的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理量確定，設(shè)計(jì)風(fēng)量應(yīng)按照廢氣排放量的105%以上進(jìn)行設(shè)計(jì)”；一般而言，會設(shè)置預(yù)留系數(shù)，按照工況的實(shí)際設(shè)定在1.1-1.2之間。 “兩室的蓄熱式焚燒爐凈化效率不宜低于95%，多室或旋轉(zhuǎn)式的蓄熱燃燒裝置的凈化效率不宜低于98%”，目前的現(xiàn)狀是三室的RTO裝置需求較多，如果業(yè)主在合同中對凈化效率有要求，如果有更高比如99%的要求，應(yīng)謹(jǐn)慎承諾。 “蓄熱焚燒裝置的熱回收效率”，熱回收效率不少人員會計(jì)算錯誤，熱回收效率的基本定義是蓄熱燃燒裝置內(nèi)預(yù)熱廢氣實(shí)際利用熱量與極限可利用熱量之比，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置進(jìn)口廢氣溫度。 自動報(bào)警和保護(hù)裝置，應(yīng)按照要求設(shè)置，比如前段時間分享的文章中均有提及部分：精細(xì)化工行業(yè)RTO系統(tǒng)主體設(shè)計(jì)應(yīng)特別注意這5點(diǎn)；化工行業(yè)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試應(yīng)注意事項(xiàng)。上?；ば顭崾椒贌隣t設(shè)備寧新環(huán)?？萍家恢敝铝τ诳諝鈨艋夹g(shù)的研發(fā)！
蓄熱式焚燒爐的陶瓷纖維內(nèi)襯采用1260陶瓷纖維模塊和1260陶瓷纖維毯對陶瓷蓄熱室和燃燒室進(jìn)行隔熱。陶瓷纖維折疊模塊的排列是“并排”的，即沿著模塊的壓縮尺寸排列。在纖維模塊之間對折一層20mm厚的陶瓷纖維毯并壓緊，在纖維模塊中插入U型釘，間距500~700mm用來固定，以補(bǔ)償纖維非膨脹面可能的收縮。這種結(jié)構(gòu)可以避免“拼花地板”排列方式中因邊角膨脹不均勻?qū)е碌睦w維模塊“花心”現(xiàn)象，達(dá)到良好的保溫隔熱效果。在安裝爐頂襯里層的過程中，使用快速卡與模塊配合，用螺栓臨時固定。在RTO爐陶瓷纖維內(nèi)襯的熱面上陶瓷纖維模塊表面涂兩遍固化劑，既能抵抗水蒸氣，又能抵抗高風(fēng)速下的煙氣沖刷，從而延長保溫內(nèi)襯的使用壽命！
“VOCs治理工程的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理量確定，設(shè)計(jì)風(fēng)量應(yīng)按照廢氣排放量的105%以上進(jìn)行設(shè)計(jì)”；一般而言，會設(shè)置預(yù)留系數(shù)，按照工況的實(shí)際設(shè)定在1.1-1.2之間。 “兩室的蓄熱式焚燒爐凈化效率不宜低于95%，多室或旋轉(zhuǎn)式的蓄熱燃燒裝置的凈化效率不宜低于98%”，目前的現(xiàn)狀是三室的RTO裝置需求較多，如果業(yè)主在合同中對凈化效率有要求，如果有更高比如99%的要求，應(yīng)謹(jǐn)慎承諾。 “蓄熱焚燒裝置的熱回收效率”，熱回收效率不少人員會計(jì)算錯誤，熱回收效率的基本定義是蓄熱燃燒裝置內(nèi)預(yù)熱廢氣實(shí)際利用熱量極限可利用熱量之比，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置進(jìn)口廢氣溫度。 自動報(bào)警和保護(hù)裝置，應(yīng)按照要求設(shè)置，比如前段時間分享的文章中均有提及部分：精細(xì)化工行業(yè)RTO系統(tǒng)主體設(shè)計(jì)應(yīng)特別注意這5點(diǎn)；化工行業(yè)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試應(yīng)注意事項(xiàng)。蓄熱式焚燒爐的廣泛應(yīng)用，為多個行業(yè)提供了可靠的廢物處理解決方案。
將可燃?xì)怏w檢測儀的分析信號、壓力信號接入蓄熱式焚燒爐RTO的編程控制系統(tǒng)，正常投加相關(guān)邏輯，各程序具備控制閥的程控電氣、氣體信號，可燃?xì)怏w濃度，用空氣強(qiáng)制稀釋或直接排放； 調(diào)整各參數(shù)的設(shè)定，使RTO處于自動運(yùn)行狀態(tài)。 制定符合企業(yè)實(shí)際生產(chǎn)情況的安全操作規(guī)程和運(yùn)行管理制度，培訓(xùn)員工進(jìn)行開、停及緊急狀態(tài)的操作 做好檢查記錄，地線、道岔、斷路器、酸(堿)處理單元、RTO公用工程等的檢查維護(hù)； 同時統(tǒng)一管理生產(chǎn)中的工作，避免各廠(工段)同時投料、同時蒸)精餾，含有機(jī)物廢氣集中排放，盡量保持廢氣濃度、氣量相對穩(wěn)定； 定期檢查(標(biāo)準(zhǔn))各傳感器，如溫度、壓力、液位、pH計(jì)、可燃?xì)怏w檢測器等，確保RTO運(yùn)行處于程序控制狀態(tài)。 目前，由于RTO系統(tǒng)在運(yùn)行使用中設(shè)計(jì)基礎(chǔ)資料不完整，設(shè)計(jì)本身存在缺陷，程序控制主要集中在RTO主機(jī)上，不含可燃?xì)怏w檢測信號； 也有操作失誤導(dǎo)致的火災(zāi)、爆燃等安全問題。 企業(yè)和RTO供應(yīng)商在設(shè)計(jì)初期應(yīng)做好基礎(chǔ)資料的收集、確認(rèn)、利用，提高RTO本身的安全設(shè)計(jì)水平，同時企業(yè)應(yīng)加強(qiáng)對RTO的操作、維護(hù)、管理，及時消除風(fēng)險，確保安全。寧新環(huán)?？萍贾铝τ诳諝鈨艋夹g(shù)的研發(fā)與設(shè)計(jì)！陜西旋轉(zhuǎn)蓄熱式焚燒爐設(shè)備
蓄熱式焚燒爐通過高溫燃燒和蓄熱技術(shù)，有效減少廢氣排放，保護(hù)大氣環(huán)境。青海旋轉(zhuǎn)式蓄熱式焚燒爐生產(chǎn)廠家
“VOCs處理項(xiàng)目的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理能力確定，設(shè)計(jì)風(fēng)量應(yīng)按廢氣排放量的105~120%以上設(shè)計(jì)”；一般來說會設(shè)置儲備系數(shù)，根據(jù)實(shí)際工況在1.1-1.2之間。 “兩室蓄熱式焚燒爐的凈化效率不應(yīng)低于95%，多室或回轉(zhuǎn)蓄熱式燃燒裝置的凈化效率不應(yīng)低于98%?！蹦壳暗默F(xiàn)狀是三室RTO設(shè)備需求量較大。如果業(yè)主在合同中對凈化效率有要求，如果有更高的要求，比如99%，就要慎重承諾。 “蓄熱式焚燒裝置的熱回收效率”，很多人會在熱回收效率的計(jì)算上犯錯誤。熱回收效率的基本定義是蓄熱式焚燒裝置中預(yù)熱廢氣的實(shí)際利用熱量與可用熱量的比值，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置入口的排氣溫度。 應(yīng)按要求設(shè)置自動報(bào)警和保護(hù)裝置。比如前段時間分享的文章都提到了以下幾個部分：精細(xì)化工RTO系統(tǒng)的主體設(shè)計(jì)要特別注意這五點(diǎn)；化學(xué)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試中應(yīng)注意的問題。青海旋轉(zhuǎn)式蓄熱式焚燒爐生產(chǎn)廠家