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廣東進口無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2024-03-10

雙光子聚合加工是在2001年開始真正應用在微納制造領域的,其先驅者是東京大阪大學的Kawata教授以及孫洪波教授。當時這個實驗室在nature上發(fā)表的一篇工作,也就是傳說中的納米牛引起了極大的轟動:《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices:Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是,這篇文獻中還進行了另外一個更厲害的工作,這兩位教授做出了當時世界上特別小的彈簧振子,其加工分辨率達到了120nm,超越了衍射極限,同時還沒有使用諸如近場加工之類的解決方案,而是單純的利用了材料的性質。無掩膜光刻技術可在各種材質表面制造微結構。廣東進口無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)

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作為基于雙光子聚合技術(2PP)的微細加工領域市場帶領者,Nanoscribe在全球30多個國家擁有各科領域的客戶群體?!拔覀?yōu)槲覀儞碛刑貏e先進的2PP技術而感到自豪,憑借我們的技術支持,我們的客戶實現(xiàn)了一個又一個突破性創(chuàng)新想法。我們是一家充滿活力、屢獲殊榮的公司,與客戶保持良好密切的合作關系是我們保持優(yōu)于市場地位的關鍵”Nanoscribe聯(lián)合創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官MartinHermatschweiler表示?;?PP微納加工技術方面的專業(yè)知識,Nanoscribe為前列科學研究和工業(yè)創(chuàng)新提供強大的技術支持,并推動生物打印、微流體、微納光學、微機械、生物醫(yī)學工程和集成光子學技術等不同領域的發(fā)展江蘇工業(yè)級無掩膜光刻激光直寫我們的無掩膜光刻寫服務能夠滿足您對圖案精度的嚴格要求。

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Nanoscribe的PhotonicProfessional設備可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,而是在孔型支架內。通過調整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內材料的聚合量,從而影響打印材料的有效折射率。采用全新SCRIBE技術(通過激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時,對折射率的調節(jié)范圍甚至超過0.3。為了證明SCRIBE新技術的巨大潛力,科研人員打印了眾多令人矚目的光學組件,例如已經(jīng)提到的龍勃透鏡。此外科研人員還打印了消色差雙合透鏡(如圖示)。通過色散透鏡聚焦的光因波長不同焦點位置也不盡相同

如何能夠利用微納尺寸的旋轉軸和鉸鏈改進傳感器并為新的傳感器設計概念鋪平道路?這正是位于代頓(俄亥俄州)的美國空軍技術學院的科研人員們通過在光纖上打印具有可活動部件的微型3D傳感器所聚焦的課題。內置的鉸鏈和微軸給傳感器設計帶來的新的設計理念,例如用于流量傳感的微轉子,可通過物***相沉積法來進入以往不易觸及的區(qū)域的微型傳感器。

光纖上3D打印的流量傳感器(渲染動畫):轉子被安裝在光纖端面的一個偏心軸上,傳感器的信號由通過光纖芯的反射光產生,以實現(xiàn)流量傳感的應用。 以及生物醫(yī)學研究,如制造微小的生物樣本等。

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Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2提供世界上分辨率非常高的3D無掩模光刻技術,用于快速,精度非常高的微納加工,可以輕松3D微納光學制作。可以搭配不同的基板,包括玻璃,硅晶片,光子和微流控芯片等,也可以實現(xiàn)芯片和光纖上直接打印。我們的3D微納加工技術可以滿足您對于制作亞微米分辨率和毫米級尺寸的復雜微機械元件的要求。3D設計的多功能性對于制作復雜且響應迅速的高精度微型機械,傳感器和執(zhí)行器是至關重要的?;陔p光子聚合原理的激光直寫技術,可適用于您的任何新穎創(chuàng)意的快速原型制作;也適合科學家和工程師們在無需額外成本增加的前提下,實現(xiàn)不同參數(shù)的創(chuàng)新3D結構的制作可以根據(jù)不同需求進行快速的圖案設計和修改,無需制作復雜的掩膜板。德國德國無掩膜光刻3D打印

Nanoscribe 的Quantum X 無掩模光刻系統(tǒng)在多個領域運用較廣。廣東進口無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)

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