“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產率等三個層面。首先，必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片，載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位；其次，必須具備動態(tài)監(jiān)控機制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性；后，必須對高產出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結果。整體而言，針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮，為了強化更小晶粒定位的精確性，需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產出損失。主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標。福建半自動探針臺公司

通常，參數測試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測器件（DUT），然后測量該器件對于此輸入信號的響應。這些信號的路徑為：從測試儀通過電纜束至測試頭，再通過測試頭至探針卡，然后通過探針至芯片上的焊點，到達被測器件，并后沿原路徑返回測試儀器。如果獲得的結果不盡如人意，問題可能是由測量儀器或軟件所致，也可能是其它原因造成。通常情況下，測量儀器引進一些噪聲或測量誤差。而更可能導致誤差的原因是系統(tǒng)的其它部件，其中之一可能是接觸電阻，它會受探針參數的影響，如探針的材料、針尖的直徑與形狀、焊接的材質、觸點壓力、以及探針臺的平整度。此外，探針尖磨損和污染也會對測試結果造成極大的負面影響。北京探針臺一般多少錢上海勤確科技有限公司團隊從用戶需求出發(fā)。

探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環(huán)境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃，氣壓為0．4±0．04MPa。相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。

X系列探針臺：1、基板采用鑄件為基準進行設計，使運動的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測，以保證實現高精度高溫度性的運動系統(tǒng)。3、整個四維運動設計成低重心的緊湊結構，保證其速率能到達70mm/s，并能提高運動過程中的加速。4、關鍵零件用導電的表面處理，保證每個位置能進行接地保護。誠信是企業(yè)生存和發(fā)展的根本。

探針治具的校準：我們希望校準過程盡可能的把測試網絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉，當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法：1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準，然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探針的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償探針頭，而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準片，校準片如下圖所示，上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。上海勤確科技有限公司專業(yè)的一站式多方位貼心服務。山西直流探針臺生產廠家

隨著全球半導體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨勢。福建半自動探針臺公司

x-y工作臺的維護與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。福建半自動探針臺公司