以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài)，測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件，表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生，利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來，便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng)，移動(dòng)范圍12mm，移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測(cè)點(diǎn)上(說明探針是耗材，一般客戶自己準(zhǔn)備)，探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上，從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件，多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試。無論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，工作臺(tái)都是其主要的部分。遼寧磁場(chǎng)探針臺(tái)生產(chǎn)

精細(xì)探測(cè)技術(shù)帶來新優(yōu)勢(shì)：先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對(duì)易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進(jìn)工藝驅(qū)動(dòng)在有效區(qū)域上墊片的測(cè)試，以低沖擊的探針卡，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個(gè)可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均，因此能動(dòng)態(tài)控制探針強(qiáng)度也是很重要的；若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動(dòng)控制，即可提升晶圓翻面時(shí)的探測(cè)精確度，使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào)，以提高精確度，并縮短索引的時(shí)間。江蘇全自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)探針臺(tái)可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。

探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào)，保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備。下面我們來了解下利用探針臺(tái)進(jìn)行在片測(cè)試的一些相關(guān)問題，首先為什么需要進(jìn)行在片測(cè)試？因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅埽皇欠庋b以后的，雖然可以去嵌，但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試，在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng)，主要包括：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，線纜，探針，探針定位器，探針臺(tái)，校準(zhǔn)設(shè)備及軟件，電源偏置等。

高精度探針臺(tái)：目前世界出貨量的型號(hào)吸收了很新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。特性1：OTS-近的位置對(duì)正系統(tǒng)（光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)）OTS通過對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)（四方型系統(tǒng)）為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置（QPU），達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是工作臺(tái)的故障。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái))，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。上海勤確科技有限公司做好每一次服務(wù)是我們對(duì)于客戶的承諾，用心服務(wù)好客戶。遼寧磁場(chǎng)探針臺(tái)生產(chǎn)

探針臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。遼寧磁場(chǎng)探針臺(tái)生產(chǎn)

探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來測(cè)試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，精確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。遼寧磁場(chǎng)探針臺(tái)生產(chǎn)