水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩Ｋh(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液，所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大，如果工作液的溫度較高，真空泵的入口真空度達(dá)到液體的飽和蒸汽壓，水（液）環(huán)真空泵便會(huì)產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象，氣蝕的存在對(duì)泵的壽命損害比較大，主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近，有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產(chǎn)生，可以降低工作液的溫度，或者降低真空泵的使用真空度，極限壓力為3300~5000Pa之間。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。真空泵選型廠商

羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。真空泵選型廠商往復(fù)真空泵活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥關(guān)閉。

螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國(guó)內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到普遍應(yīng)用。優(yōu)點(diǎn)是壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵，真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)?，真空泵必須具有前?jí)泵配合，方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感，普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。液環(huán)泵屬于粗真空泵，在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著很大的市場(chǎng)。

在實(shí)際應(yīng)用中，微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的：一類是排氣很順暢，直通大氣；另一類是排氣阻力較大，比如在排氣管路上有閥、細(xì)小彎管、大阻尼傳感器、非專門用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造中，把面對(duì)不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對(duì)待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡(jiǎn)單地說，對(duì)于排氣阻力大的系統(tǒng)，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列、PCF系列；對(duì)于排氣阻力小的系統(tǒng)，選型范圍是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。臥式往復(fù)真空泵一般為有油式，立式多為無(wú)油式。實(shí)驗(yàn)室微型真空泵供貨公司

液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。真空泵選型廠商

爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每級(jí)泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙，即四級(jí)泵需嚴(yán)格控制8個(gè)端面間隙，泵在運(yùn)行時(shí)的熱膨脹及抽除粉未等時(shí)容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級(jí)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復(fù)雜性，一般人員很難達(dá)到裝配要求；因爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，排氣通道復(fù)雜，在抽除可凝性氣體時(shí)（例如：水蒸汽，有機(jī)溶劑氣體等），在泵腔內(nèi)壓縮時(shí)會(huì)產(chǎn)生較多的液體，這部分液體進(jìn)入泵的端面造成泵的負(fù)載明顯變大，四級(jí)爪形真空泵有8個(gè)端面，不宜抽除大量可凝性氣體。真空泵選型廠商