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螺桿真空泵

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-11-07

由于水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的下部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。螺桿真空泵

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羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。VP0645真空泵哪里有賣真空泵抽速的抽氣量是彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。

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干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件,進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機(jī),用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。

當(dāng)真空泵中的葉輪順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵外。羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵。

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往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動的活塞,活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,以及機(jī)座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),在電動機(jī)的驅(qū)動下,通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用,使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動時(shí),由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內(nèi)氣體的密度減小,而形成抽氣過程,此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時(shí),氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。液環(huán)泵屬于粗真空泵,在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著很大的市場。螺桿真空泵

真空泵泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染。螺桿真空泵

在實(shí)際應(yīng)用中,微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢,直通大氣;另一類是排氣阻力較大,比如在排氣管路上有閥、細(xì)小彎管、大阻尼傳感器、非專門用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡單地說,對于排氣阻力大的系統(tǒng),我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對于排氣阻力小的系統(tǒng),選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。螺桿真空泵

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