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四川led碳化硅襯底

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-08-07

PVT法和HTCVD法生長碳化硅晶體原理圖。兩者都可以用于生長4H-SiC碳化硅晶片,HTCVD更像是PVT的“加強(qiáng)版”。PVT法的優(yōu)勢在于相對(duì)簡單易控制,市場占有率高,生長n型導(dǎo)電晶片很成熟。其劣勢是p型導(dǎo)電和高阻半絕緣型晶片生長成本高,不能生長高質(zhì)量的高純半絕緣晶片。HTCVD法的優(yōu)勢是可以生長導(dǎo)電型(n、p)和高純半絕緣晶片,可以控制摻雜濃度,使晶片中載流子濃度在3×1013~5×1019/cm3之間可調(diào)。其劣勢是技術(shù)門檻高,市場占有率低。SiC作為第三代半導(dǎo)體材料的杰出**由于其特有的物理化學(xué)特性成為制作高頻、大功率、高溫器件的理想材料。四川led碳化硅襯底

隨著全球電子信息及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)對(duì)硅晶片需求量的快速增長,硅晶片線切割用碳化硅微粉的需求量也正在迅速增加。

 以碳化硅(SiC)及GaN為**的寬禁帶材料,是繼Si和GaAs之后的第三代半導(dǎo)體。與Si及GaAs相比,SiC具有寬禁帶、高熱導(dǎo)率、高擊穿場強(qiáng)、高飽和電子漂移速率、化學(xué)性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。所以,SiC特別適合于制造高溫、高頻、高功率、抗輻射、抗腐蝕的電子器件。此外,六方SiC與GaN晶格和熱膨脹相匹配,也是制造高亮度GaN發(fā)光和激光二極管的理想襯底材料。SiC晶體目前主要應(yīng)用于光電器件如藍(lán)綠光發(fā)光二極管以及紫外光激光二極管和功率器件包括大功率肖托基二極管,MES晶體管微波器件等。


四川led碳化硅襯底碳化硅由于其獨(dú)特的物理及電子特性,在一些應(yīng)用上成為短波長光電元件,高溫,抗幅射以及高頻大功率元件。

在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展進(jìn)程中,人們通常把Si和Ge元素半導(dǎo)體稱為***代電子材料,把GaAs、InP、InAs等化合物半導(dǎo)體稱為第二代半導(dǎo)體材料,而把Ⅲ族氮化物(主要包括GaN、相關(guān)化合物InN、AIN及其合金)、SiC、InSe、金剛石等寬帶隙的化合物半導(dǎo)體稱為第三代半導(dǎo)體材料。

碳化硅晶體(sic)結(jié)構(gòu)具有同質(zhì)多型的特點(diǎn),其基本結(jié)構(gòu)是Si-C四面體結(jié)構(gòu)。它是由四個(gè)Si原子形成的四面體包圍一個(gè)碳原子組成,按相同的方式一個(gè)Si原子也被四個(gè)碳原子的四面體包圍,屬于密堆積結(jié)構(gòu)。

SiC 有多種同質(zhì)多型體,不同的同質(zhì)多型體有不同的應(yīng)用范圍。典型的有3C-SiC、4H-SiC 和 6H-SiC,它們各有不同的應(yīng)用范圍。其中,3C-SiC 是***具有閃鋅礦結(jié)構(gòu)的同質(zhì)多型體,其電子遷移率比較高,再加上有高熱導(dǎo)率和高臨界擊穿電場,非常適合于制造高溫大功率的高速器件;6H-SiC 具有寬的帶隙,在高溫電子、光電子和抗輻射電子等方面有使用價(jià)值,使用6H-SiC 制造的高頻大功率器件,工作溫度高,功率密度有極大的提升;而 4H-SiC 具有比 6H-SiC 更寬的帶隙和較高的電子遷移率,是大功率器件材料的比較好選擇。  由于 SiC 器件在國防和民用領(lǐng)域不可替代的地位,世界上很多國家對(duì) SiC 半導(dǎo)體材料和器件的研究都很重視。美國的國防寬禁帶半導(dǎo)體計(jì)劃、歐洲的ESCAPEE計(jì)劃和日本的國家硬電子計(jì)劃等,紛紛對(duì) SiC 半導(dǎo)體材料晶體制備和外延及器件投入巨資進(jìn)行研究?,F(xiàn)在,SiC材料正在大舉進(jìn)入功率半導(dǎo)體領(lǐng)域。

SiC單晶生長經(jīng)歷了3個(gè)階段,即Acheson法、Lely法、改良Lely法。利用SiC高溫升華分解這一特性,可采用升華法即Lely法來生長SiC晶體。升華法是目前商業(yè)生產(chǎn)SiC單晶最常用的方法,它是把SiC粉料放在石墨坩堝和多孔石墨管之間,在惰性氣體(氬氣)環(huán)境溫度為2 500℃的條件下進(jìn)行升華生長,可以生成片狀SiC晶體。由于Lely法為自發(fā)成核生長方法,不容易控制所生長SiC晶體的晶型,且得到的晶體尺寸很小,后來又出現(xiàn)了改良的Lely法。改良的Lely法也被稱為采用籽晶的升華法或物***相輸運(yùn)法[10](簡稱PVT法)。PVT法的優(yōu)點(diǎn)在于:采用SiC籽晶控制所生長晶體的晶型,克服了Lely法自發(fā)成核生長的缺點(diǎn),可得到單一晶型的SiC單晶,且可生長較大尺寸的SiC單晶。與Si相比,SiC的禁帶寬度為其2-3倍,同時(shí)具有其4.4倍的熱導(dǎo)率,8倍的臨界擊穿電場。四川led碳化硅襯底

碳化硅(SIC)是半導(dǎo)體界公認(rèn)的“一種未來的材料”。四川led碳化硅襯底

銷售順應(yīng)行業(yè)集中度提升以及安全、節(jié)能、經(jīng)濟(jì)發(fā)展的大趨勢,積極優(yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu),增產(chǎn)活性染料,將有利于行業(yè)優(yōu)勝劣汰,樹立行業(yè)標(biāo)桿,在加強(qiáng)自身競爭力的同時(shí),推動(dòng)行業(yè)良性發(fā)展?;谔沾裳心デ?,碳化硅,陶瓷精加工,拋光液優(yōu)勢的相關(guān)多元化。是企業(yè)在已有產(chǎn)品的資源或者技術(shù)優(yōu)勢上進(jìn)行的產(chǎn)品的相關(guān)多元化。相關(guān)多元化它可以是基于相關(guān)多元化產(chǎn)品擁有共同的上游原料,也可以是基于相同的技術(shù)優(yōu)勢。20世紀(jì)初,人類進(jìn)入石油時(shí)代,至今原油仍然作為人類能源消費(fèi)的主體能源。從貿(mào)易型生命周期來看行業(yè)發(fā)展趨勢,我們認(rèn)為化工行業(yè)的發(fā)展趨勢是一體化、平臺(tái)化、集聚化和高端化。第三方物流的產(chǎn)生是社會(huì)專業(yè)化分工的體現(xiàn),化工企業(yè)通過將非重點(diǎn)業(yè)務(wù)外包給專業(yè)公司,可以更傾向于將有限的資源集中發(fā)展重點(diǎn)業(yè)務(wù)。因此,化工物流行業(yè)的發(fā)展前景廣闊。四川led碳化硅襯底

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