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小五軸激光精密加工工藝

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-03-09

用激光劃線技術(shù)進(jìn)行劃片,把激光束聚焦在硅片表面,產(chǎn)生高溫使材料汽化而形成溝槽。通過(guò)調(diào)節(jié)脈沖重疊量可精確控制刻槽深度,使硅片很容易沿溝槽整齊斷開(kāi),也可進(jìn)行多次割劃而直接切開(kāi)。由于激光被聚焦成極小的光斑,熱影響區(qū)極小,切劃50μm深的溝槽時(shí),在溝槽邊25μm的地方溫升不會(huì)影響有源器件的性能。激光劃片是非接觸加工,硅片不會(huì)受機(jī)械力而產(chǎn)生裂紋。因此可以達(dá)到提高硅片利用率、成品率高和切割質(zhì)量好的目的。還可用于單晶硅、多晶硅、非晶硅太陽(yáng)能電池的劃片以及硅、鍺、砷化稼和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片與切割。激光加工,工業(yè)制造的高效之選。小五軸激光精密加工工藝

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隨著技術(shù)的進(jìn)步,傳統(tǒng)的打孔方法在許多場(chǎng)合已不能滿足需求。例如在堅(jiān)硬的碳化鎢合金上加工直徑為幾十微米的小孔;在硬而脆的紅、藍(lán)寶石上加工幾百微米直徑的深孔等,用常規(guī)的機(jī)械加工方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)。而激光束的瞬時(shí)功率密度高達(dá)108W/cm2,可在短時(shí)間內(nèi)將材料加熱到熔點(diǎn)或沸點(diǎn),在上述材料上實(shí)現(xiàn)打孔。與電子束、電解、電火花、和機(jī)械打孔相比,激光打孔質(zhì)量好、重復(fù)精度高、通用性強(qiáng)、效率高、成本低及綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益明顯。國(guó)外在激光精密打孔已經(jīng)達(dá)到很高的水平。瑞士某公司利用固體激光器給飛機(jī)渦輪葉片進(jìn)行打孔,可以加工直徑從20μm到80μm的微孔,并且其直徑與深度之比可達(dá)1∶80。激光束還可以在脆性材料如陶瓷上加工各種微小的異型孔如盲孔、方孔等,這是普通機(jī)械加工無(wú)法做到的。常州超快激光精密加工激光工藝,推動(dòng)工業(yè)制造升級(jí)。

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激光精密加工的優(yōu)點(diǎn)在國(guó)外,自1960年美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明紅寶石激光器以來(lái)后,激光就逐步地被應(yīng)用到音像設(shè)備、測(cè)距、醫(yī)療儀器、加工等各個(gè)領(lǐng)域。在激光精密加工領(lǐng)域,雖然激光發(fā)射器價(jià)格非常昂貴(幾十萬(wàn)到上百萬(wàn)),但由于激光加工具有傳統(tǒng)加工無(wú)法比擬的優(yōu)勢(shì),在美、意、德等國(guó)家激光加工已占到加工行業(yè)50%以上的份額。加工技術(shù)激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特別適合于精密加工。按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求,將激光加工技術(shù)分為三個(gè)層次:(1)大型件材料激光加工技術(shù),以厚板(數(shù)毫米至幾十毫米)為主要對(duì)象,其加工精度一般在毫米或者亞毫米級(jí);(2)精密激光加工技術(shù),以薄板(0.1~1.0mm)為主要加工對(duì)象,其加工精度一般在十微米級(jí);(3)激光微細(xì)加工技術(shù),針對(duì)厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對(duì)象,其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級(jí)。

切割縫細(xì)?。杭す馇懈畹母羁p一般在0.1-0.2mm。切割面光滑:激光切割的切割面無(wú)毛刺。熱變形小:激光加工的激光割縫細(xì)、速度快、能量集中,因此傳到被切割材料上的熱量小,引起材料的變形也非常小。節(jié)省材料:激光加工采用電腦編程,可以把不同形狀的產(chǎn)品進(jìn)行材料的套裁,比較大限度地提高材料的利用率,有效降低了企業(yè)材料成本。非常適合新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā):一旦產(chǎn)品圖紙形成后,馬上可以進(jìn)行激光加工,你可以在較短的時(shí)間內(nèi)得到新產(chǎn)品的實(shí)物??偟膩?lái)說(shuō),激光精密加工技術(shù)比傳統(tǒng)加工方法有許多優(yōu)越性,其應(yīng)用前景十分廣闊。精細(xì)制造,讓產(chǎn)品更完美。

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激光精密打孔隨著技術(shù)的進(jìn)步,傳統(tǒng)的打孔方法在許多場(chǎng)合已不能滿足需求。例如在堅(jiān)硬的碳化鎢合金上加工直徑為幾十微米的小孔;在硬而脆的紅、藍(lán)寶石上加工幾百微米直徑的深孔等,用常規(guī)的機(jī)械加工方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)。而激光束的瞬時(shí)功率密度高達(dá)108W/cm2,可在短時(shí)間內(nèi)將材料加熱到熔點(diǎn)或沸點(diǎn),在上述材料上實(shí)現(xiàn)打孔。與電子束、電解、電火花、和機(jī)械打孔相比,激光打孔質(zhì)量好、重復(fù)精度高、通用性強(qiáng)、效率高、成本低及綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益明顯。國(guó)外在激光精密打孔已經(jīng)達(dá)到很高的水平。瑞士某公司利用固體激光器給飛機(jī)渦輪葉片進(jìn)行打孔,可以加工直徑從20μm到80μm的微孔,并且其直徑與深度之比可達(dá)1∶80。激光束還可以在脆性材料如陶瓷上加工各種微小的異型孔如盲孔、方孔等,這是普通機(jī)械加工無(wú)法做到的。寧波米控機(jī)器人科技有限公司的激光精密加工價(jià)格便宜嗎?金華激光精密加工公司

激光加工,讓制造更智能、更高效。小五軸激光精密加工工藝

常用加工設(shè)備一般用于精密加工的激光器有:CO2激光器,YAG激光器,銅蒸汽激光器,準(zhǔn)分子激光器和CO激光器等。其中大功率CO2激光器和大功率YAG激光器在大型件激光加工技術(shù)中應(yīng)用較廣;而銅蒸汽激光器和準(zhǔn)分子激光器在激光微細(xì)加工技術(shù)中應(yīng)用較多;中、小功率YAG激光器一般用于精密加工。應(yīng)用(1)激光精密打孔隨著技術(shù)的進(jìn)步,傳統(tǒng)的打孔方法在許多場(chǎng)合已不能滿足需求。例如在堅(jiān)硬的碳化鎢合金上加工直徑為幾十微米的小孔;在硬而脆的紅、藍(lán)寶石上加工幾百微米直徑的深孔等,用常規(guī)的機(jī)械加工方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)。小五軸激光精密加工工藝

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