HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用?合肥真萍告訴您。南京工業(yè)烤箱多少錢一臺
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應(yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜。一、氮氣監(jiān)控系統(tǒng):1.1、2.3”LED大屏幕數(shù)字顯示濕度/溫度。1.2、溫濕度顯示值0.1%-99.9%RH,溫度顯示值0.1℃-60.0℃。1.3、溫濕度收集采準確傳感器,長距離傳輸無誤差。1.4、濕度控制:2.4.1利用濕度設(shè)定值來控制氮氣流入,到達濕度設(shè)定值即停止進氣,節(jié)省氮氣耗用。2.4.2濕度在1%-60%RH可調(diào)整。1.5、溫濕度記錄功能:2.5.1內(nèi)建內(nèi)存,可儲存溫度/濕度,收集時間1~240分鐘可自行設(shè)定。2.5.2可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。2.5.3品管記錄格式設(shè)計,有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持數(shù)據(jù)庫檔案格式。1.6、濕度警報系統(tǒng):1.6.1可設(shè)定啟動警報的濕度值及條件,內(nèi)配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。1.6.2可另外選配積層式警示燈。1.7、溫濕度偏移校正功能:內(nèi)建校正功能,確保顯示準確度。南京工業(yè)烤箱多少錢一臺工業(yè)烤箱找哪家比較安心?合肥真萍不錯。
工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu),殼體為角鋼薄鋼板,內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì)。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。
潔凈烘箱,本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標準研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。箱體結(jié)構(gòu):1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過濾部分,N2進氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內(nèi)膽材料:采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費。4電熱部分:采用進口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計)過濾效果可達99.99%,Class100;可靠先進的測控系統(tǒng)1溫度控制裝置:日本進口溫控器,內(nèi)置PID自動整定,斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印。工業(yè)烤箱常見的用途有哪些?合肥真萍告訴您。
下面為大家介紹一下真空干燥箱。它是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點,加快干燥的速度。特點:1、長方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2、雙層玻璃視窗觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3、箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。4、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5、儲存、加熱、試驗和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進行,所以不會氧化。真空程序分段控制該型號機型,抽真空過程可提供程序化編程,根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時間值??蓪崿F(xiàn)多段抽真空和保壓編程。操作步驟1,接通電源2,產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門3,打開電源4,工作溫度設(shè)定好,啟動加熱,設(shè)備進入自動恒溫狀態(tài)5,真空值和時間設(shè)定好后,啟動真空泵,開始進入自動抽真空階段6,到達時間值后,真空泵自動關(guān)閉工業(yè)烤箱對如今市場的影響。寧波工業(yè)烤箱電烘箱接線.
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真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1、后門設(shè)計熱風(fēng)電機2、降溫時風(fēng)機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術(shù)指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)南京工業(yè)烤箱多少錢一臺
上海矽旺電子科技有限公司位于楊路2389弄3號樓普洛斯大廈768室,交通便利,環(huán)境優(yōu)美,是一家貿(mào)易型企業(yè)。是一家有限責(zé)任公司(自然)企業(yè),隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進,追求新型,在強化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,良好的質(zhì)量、合理的價格、完善的服務(wù),在業(yè)界受到寬泛好評。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標準;以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,提供***的電子科技,機械科技,機電科技,電氣科技。矽旺電子科技以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念,打造高指標的服務(wù),引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展。