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立式工業(yè)烤箱非標(biāo)定制

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-01-21

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。精密工業(yè)烤箱的廠家合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的應(yīng)用范圍。

通過(guò)數(shù)顯儀表與溫感器的連接來(lái)控制溫度,采用熱風(fēng)循環(huán)送風(fēng)方式,熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計(jì)算,風(fēng)源是由送風(fēng)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)由電熱器,將熱風(fēng)送至風(fēng)道后進(jìn)入烘箱工作室,且將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱運(yùn)用,如此可有效提高溫度均勻性。如箱門(mén)使用中被開(kāi)關(guān),可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu),殼體為角鋼薄鋼板,內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì)。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)。

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