青島低溫光刻膠工廠

來源：發(fā)布時(shí)間：2025-07-08

關(guān)鍵工藝流程

涂布與前烘：

? 旋涂或噴涂負(fù)性膠，厚度可達(dá)1-100μm（遠(yuǎn)厚于正性膠），前烘溫度60-90℃，去除溶劑并增強(qiáng)附著力。

曝光：

? 光源以**汞燈G線（436nm）**為主，適用于≥1μm線寬，曝光能量較高（約200-500mJ/cm2），需注意掩膜版與膠膜的貼合精度。

顯影：

? 使用有機(jī)溶劑顯影液（如二甲苯、醋酸丁酯），未曝光的未交聯(lián)膠膜溶解，曝光的交聯(lián)膠膜保留。

后處理：

? 后烘（Post-Bake）：加熱（100-150℃）進(jìn)一步固化交聯(lián)結(jié)構(gòu)，提升耐干法蝕刻或濕法腐蝕的能力。

產(chǎn)業(yè)鏈配套：原材料與設(shè)備協(xié)同發(fā)展。青島低溫光刻膠工廠

納米壓印光刻膠

微納光學(xué)器件制造：制作衍射光學(xué)元件、微透鏡陣列等微納光學(xué)器件時(shí)，納米壓印光刻膠可實(shí)現(xiàn)高精度的微納結(jié)構(gòu)復(fù)制。通過納米壓印技術(shù)，將模板上的微納圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上，再經(jīng)過后續(xù)處理，可制造出具有特定光學(xué)性能的微納光學(xué)器件，應(yīng)用于光通信、光學(xué)成像等領(lǐng)域。

生物芯片制造：在 DNA 芯片、蛋白質(zhì)芯片等生物芯片的制造中，需要在芯片表面構(gòu)建高精度的微納結(jié)構(gòu)，用于生物分子的固定和檢測(cè)。納米壓印光刻膠可幫助實(shí)現(xiàn)這些精細(xì)結(jié)構(gòu)的制作，提高生物芯片的檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)確性。

山西進(jìn)口光刻膠報(bào)價(jià)光刻膠國產(chǎn)化率不足10%，產(chǎn)品仍依賴進(jìn)口，但本土企業(yè)正加速突破。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：多元化布局與專業(yè)化延伸

全品類覆蓋

吉田產(chǎn)品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導(dǎo)體錫膏等，形成“光刻膠+配套材料”的完整產(chǎn)品線。例如：

? 芯片光刻膠：覆蓋i線、g線光刻膠，適用于6英寸、8英寸晶圓制造。

? 納米壓印光刻膠：用于MEMS、光學(xué)器件等領(lǐng)域，替代傳統(tǒng)光刻工藝。

專業(yè)化延伸

公司布局半導(dǎo)體用KrF光刻膠，計(jì)劃2025年啟動(dòng)研發(fā)，目標(biāo)進(jìn)入中芯國際、長江存儲(chǔ)等晶圓廠供應(yīng)鏈。

質(zhì)量與生產(chǎn)優(yōu)勢(shì)：嚴(yán)格品控與自動(dòng)化生產(chǎn)

ISO認(rèn)證與全流程管控

公司通過ISO9001:2008質(zhì)量體系認(rèn)證，生產(chǎn)環(huán)境執(zhí)行8S管理，原材料采用美、德、日進(jìn)口高質(zhì)量材料，確保產(chǎn)品批次穩(wěn)定性。

質(zhì)量指標(biāo)：光刻膠金屬離子含量低于0.1ppb，良率超99%。

自動(dòng)化生產(chǎn)能力

擁有行業(yè)前列的全自動(dòng)化生產(chǎn)線，年產(chǎn)能達(dá)2000噸（光刻膠及配套材料），支持大規(guī)模訂單交付。

研發(fā)投入

? 擁有自己實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)團(tuán)隊(duì)，研發(fā)費(fèi)用占比超15%，聚焦EUV光刻膠前驅(qū)體、低缺陷納米壓印膠等前沿領(lǐng)域，與中山大學(xué)、華南理工大學(xué)建立產(chǎn)學(xué)研合作。

? 專項(xiàng)布局：累計(jì)申請(qǐng)光刻膠相關(guān)的項(xiàng)目30余項(xiàng)，涵蓋樹脂合成、配方優(yōu)化、涂布工藝等細(xì)致環(huán)節(jié)。

生產(chǎn)體系

? 全自動(dòng)化產(chǎn)線：采用德國曼茨（Manz）涂布設(shè)備、日本島津（Shimadzu）檢測(cè)儀器，年產(chǎn)能超500噸（光刻膠），支持小批量定制（小訂單100g）和大規(guī)模量產(chǎn)。

? 潔凈環(huán)境：生產(chǎn)車間達(dá)萬級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)（ISO 8級(jí)），避免顆粒污染，確保光刻膠缺陷密度<5個(gè)/cm2。

光刻膠的質(zhì)量直接影響芯片良率，其研發(fā)始終是行業(yè)技術(shù)焦點(diǎn)。

制版光刻膠應(yīng)用場(chǎng)景：印刷電路板（FPC）、觸摸屏（TP）的掩膜版制作，以及光學(xué)元件（如衍射光柵）的微納加工。特點(diǎn)：高分辨率與耐化學(xué)性，確保模板的長期使用壽命。

水性光刻膠（JT-1200）應(yīng)用場(chǎng)景：環(huán)保要求高的電子元件（如醫(yī)療設(shè)備、汽車電子）的制造，以及柔性電路的生產(chǎn)。特點(diǎn)：以水為溶劑，低 VOC 排放，符合 RoHS 和 REACH 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

水油兩用光刻膠（JT-2001/SR-3308）適用于混合工藝場(chǎng)景（如部分環(huán)節(jié)需水性顯影，部分需溶劑顯影），提升生產(chǎn)靈活性。光刻膠的顯示面板領(lǐng)域。湖南網(wǎng)版光刻膠供應(yīng)商

化學(xué)放大光刻膠（CAR）采用光酸催化劑，可顯著提高深紫外（DUV）曝光效率。青島低溫光刻膠工廠

國際標(biāo)準(zhǔn)與客戶認(rèn)證

公司通過ISO9001、ISO14001等認(rèn)證，并嚴(yán)格執(zhí)行8S現(xiàn)場(chǎng)管理，生產(chǎn)環(huán)境潔凈度達(dá)Class 10級(jí)。其光刻膠產(chǎn)品已通過京東方、TCL華星的供應(yīng)商認(rèn)證，在顯示面板領(lǐng)域的市占率約5%，成為本土企業(yè)中少數(shù)能與日本JSR、德國默克競(jìng)爭(zhēng)的廠商。

全流程可追溯體系

吉田半導(dǎo)體建立了從原材料入庫到成品出庫的全流程追溯系統(tǒng)，關(guān)鍵批次數(shù)據(jù)（如樹脂分子量分布、光敏劑純度）實(shí)時(shí)上傳云端，確保產(chǎn)品一致性和可追溯性。這一體系使其在車規(guī)級(jí)芯片等對(duì)可靠性要求極高的領(lǐng)域獲得突破，2023年車用光刻膠銷售額同比增長120%。

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標(biāo)簽：錫膏錫片光刻膠

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