光刻膠系列:
厚板光刻膠 JT - 3001,具備優(yōu)異分辨率、感光度和抗深蝕刻性能,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),保質(zhì)期 1 年;
水油光刻膠 SR - 3308,容量 5L;SU - 3 負(fù)性光刻膠,分辨率優(yōu)異,對(duì)比度良好,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),重量 100g;
液晶平板顯示器負(fù)性光刻膠 JT - 1000,有 1L 裝和 100g 裝兩種規(guī)格,分辨率高,準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性好;
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠,耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿,耐高溫達(dá) 250°C,長(zhǎng)期可靠性高,粘接強(qiáng)度高,重量 100g;
LCD 正性光刻膠 YK - 200,具有較大曝光、高分辨率、良好涂布和附著力,重量 100g;
半導(dǎo)體正性光刻膠 YK - 300,具備耐熱耐酸、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性,重量 100g;
耐腐蝕負(fù)性光刻膠 JT - NF100,重量 1L。
光刻膠廠(chǎng)家推薦吉田半導(dǎo)體,23 年研發(fā)經(jīng)驗(yàn),全自動(dòng)化生產(chǎn)保障品質(zhì)!惠州進(jìn)口光刻膠
定義與特性
正性光刻膠是一種在曝光后,曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料,形成與掩膜版(Mask)圖案一致的圖形。與負(fù)性光刻膠(未曝光區(qū)域溶解)相比,其優(yōu)勢(shì)是分辨率高、圖案邊緣清晰,是半導(dǎo)體制造(尤其是制程)的主流選擇。
化學(xué)組成與工作原理
主要成分
? 樹(shù)脂(成膜劑):
? 傳統(tǒng)正性膠:采用**酚醛樹(shù)脂(Novolak)與重氮萘醌(DNQ,光敏劑)**的復(fù)合體系(PAC體系),占比約80%-90%。
? 化學(xué)增幅型(用于DUV/EUV):含環(huán)化烯烴樹(shù)脂或含氟聚合物,搭配光酸發(fā)生器(PAG),通過(guò)酸催化反應(yīng)提高感光度和分辨率。
? 溶劑:溶解樹(shù)脂和感光劑,常用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乳酸乙酯。
? 添加劑:表面活性劑(改善涂布均勻性)、穩(wěn)定劑(防止暗反應(yīng))、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等。
工作原理
? 曝光前:光敏劑(如DNQ)與樹(shù)脂結(jié)合,形成不溶于堿性顯影液的復(fù)合物。
? 曝光時(shí):
? 傳統(tǒng)PAC體系:DNQ在紫外光(G線(xiàn)436nm、I線(xiàn)365nm)照射下發(fā)生光分解,生成羧酸,使曝光區(qū)域樹(shù)脂在堿性顯影液中溶解性增強(qiáng)。
? 化學(xué)增幅型:PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸,催化樹(shù)脂發(fā)生脫保護(hù)反應(yīng),大幅提高顯影速率(靈敏度提升10倍以上)。
? 顯影后:曝光區(qū)域溶解去除,未曝光區(qū)域保留,形成正性圖案。
江西高溫光刻膠供應(yīng)商光刻膠的研發(fā)需要兼顧材料純度、粘附性和曝光后的化學(xué)穩(wěn)定性。
客戶(hù)認(rèn)證:從實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)線(xiàn)的漫長(zhǎng)“闖關(guān)”
驗(yàn)證周期與試錯(cuò)成本
半導(dǎo)體光刻膠需經(jīng)歷PRS(性能測(cè)試)、STR(小試)、MSTR(中批量驗(yàn)證)等階段,周期長(zhǎng)達(dá)2-3年。南大光電的ArF光刻膠自2021年啟動(dòng)驗(yàn)證,直至2025年才通過(guò)客戶(hù)50nm閃存平臺(tái)認(rèn)證。試錯(cuò)成本極高,單次晶圓測(cè)試費(fèi)用超百萬(wàn)元,且客戶(hù)為維持產(chǎn)線(xiàn)穩(wěn)定,通常不愿更換供應(yīng)商。
設(shè)備與工藝的協(xié)同難題
光刻膠需與光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)等設(shè)備高度匹配。國(guó)內(nèi)企業(yè)因缺乏ASML EUV光刻機(jī)測(cè)試資源,只能依賴(lài)二手設(shè)備或與晶圓廠(chǎng)合作驗(yàn)證,導(dǎo)致研發(fā)效率低下。例如,華中科技大學(xué)團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)的EUV光刻膠因無(wú)法接入ASML原型機(jī)測(cè)試,性能參數(shù)難以對(duì)標(biāo)國(guó)際。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司,坐落于松山湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),是半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的一顆璀璨明珠。公司注冊(cè)資本 2000 萬(wàn)元,專(zhuān)注于半導(dǎo)體材料的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售,是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、廣東省專(zhuān)精特新企業(yè)以及廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè)。
強(qiáng)大的產(chǎn)品陣容:吉田半導(dǎo)體產(chǎn)品豐富且實(shí)力強(qiáng)勁。芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠精細(xì)滿(mǎn)足芯片制造、微納加工等關(guān)鍵環(huán)節(jié)需求;半導(dǎo)體錫膏、焊片在電子焊接領(lǐng)域性能;靶材更是在材料濺射沉積工藝中發(fā)揮關(guān)鍵作用。這些產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)全球,與眾多世界 500 強(qiáng)企業(yè)及電子加工企業(yè)建立了長(zhǎng)期穩(wěn)固的合作關(guān)系。
雄厚的研發(fā)生產(chǎn)實(shí)力:作為一家擁有 23 年研發(fā)與生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)的綜合性企業(yè),吉田半導(dǎo)體具備行業(yè)前列規(guī)模與先進(jìn)的全自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備。23 年的深耕細(xì)作,使其在技術(shù)研發(fā)、工藝優(yōu)化等方面積累了深厚底蘊(yùn),能夠快速響應(yīng)市場(chǎng)需求,不斷推出創(chuàng)新性產(chǎn)品。
嚴(yán)格的質(zhì)量管控:公司始終將品質(zhì)視為生命線(xiàn),嚴(yán)格按照 ISO9001:2008 質(zhì)量體系標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控生產(chǎn)制程。生產(chǎn)環(huán)境執(zhí)行 8S 現(xiàn)場(chǎng)管理,從源頭抓起,所有生產(chǎn)材料均選用美國(guó)、德國(guó)、日本等國(guó)家進(jìn)口的高質(zhì)量原料,確??蛻?hù)使用到超高質(zhì)量且穩(wěn)定的產(chǎn)品。
吉田技術(shù)研發(fā)與生產(chǎn)能力。
LCD 正性光刻膠(YK-200)應(yīng)用場(chǎng)景:LCD 面板的電極圖案化(如 TFT-LCD 的柵極、源漏極)、彩色濾光片制造。特點(diǎn):高感光度與均勻涂布性,確保顯示面板的高對(duì)比度和色彩還原度。
厚膜光刻膠(JT-3001)應(yīng)用場(chǎng)景:Mini LED/Micro LED 顯示基板的巨量轉(zhuǎn)移技術(shù),以及 OLED 面板的封裝工藝。特點(diǎn):膜厚可控(可達(dá)數(shù)十微米),滿(mǎn)足高密度像素陣列的精細(xì)加工需求。
PCB 光刻膠(如 SU-3 負(fù)性光刻膠)應(yīng)用場(chǎng)景:高多層 PCB、HDI(高密度互連)板的線(xiàn)路成像,以及 IC 載板的精細(xì)線(xiàn)路制作。特點(diǎn):抗電鍍性能優(yōu)異,支持細(xì)至 50μm 以下的線(xiàn)寬 / 線(xiàn)距,適應(yīng) 5G 通信、服務(wù)器等 PCB 需求。
光刻膠的顯示面板領(lǐng)域。四川阻焊油墨光刻膠感光膠
正性光刻膠生產(chǎn)廠(chǎng)家。惠州進(jìn)口光刻膠
主要優(yōu)勢(shì):細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同
技術(shù)積累與自主化能力
公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗(yàn),實(shí)現(xiàn)了從樹(shù)脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化。例如,其納米壓印光刻膠通過(guò)自主開(kāi)發(fā)的樹(shù)脂體系,分辨率達(dá)3μm,適用于MEMS傳感器、光學(xué)器件等領(lǐng)域,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。
技術(shù)壁壘:掌握光刻膠主要原材料(如樹(shù)脂、光酸)的合成技術(shù),部分原材料純度達(dá)PPT級(jí),金屬離子含量低于0.1ppb,良率超99%。
產(chǎn)品多元化與技術(shù)化布局
產(chǎn)品線(xiàn)覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導(dǎo)體錫膏等,形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如:
? LCD光刻膠:適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術(shù),與京東方、TCL華星合作開(kāi)發(fā)高分辨率產(chǎn)品,良率提升至98%。
? 半導(dǎo)體錫膏:供應(yīng)華為、OPPO等企業(yè),年采購(gòu)量超200噸,用于5G手機(jī)主板封裝。
技術(shù)化延伸:計(jì)劃2025年啟動(dòng)半導(dǎo)體用KrF光刻膠研發(fā),目標(biāo)進(jìn)入中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)供應(yīng)鏈。
質(zhì)量控制與生產(chǎn)能力
通過(guò)ISO9001:2008質(zhì)量體系認(rèn)證,生產(chǎn)環(huán)境執(zhí)行8S管理,原材料采用美、德、日進(jìn)口高質(zhì)量材料。擁有全自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn),年產(chǎn)能達(dá)2000噸(光刻膠及配套材料),支持大規(guī)模訂單交付。
惠州進(jìn)口光刻膠