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來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-04-16


晶圓的主要材料為硅,沙子就是自然界常見的硅元素形態(tài)。通過提煉沙子得到晶硅,在提煉出的晶硅中選出晶向合適的晶體,該晶體被稱為“籽晶”,通過籽晶引導(dǎo)晶體朝所需方向生長。

在晶體生長方法中較常見的是柴可拉斯基法(Czochralski technique),也可以簡單地叫做提拉法。將晶硅熔化,在生長過程中使其受熱均勻,控制大氣以避免熔融硅的污染。氬氣常被作為保護(hù)氣體。

當(dāng)硅的溫度達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),將一個(gè)有適當(dāng)晶向的硅籽晶放入熔融硅中,作為后續(xù)生長較大晶體的起始點(diǎn)。

當(dāng)籽晶的底部開始在熔融硅中熔掉時(shí),此時(shí)將籽晶的支撐往上拉起。

當(dāng)籽晶慢慢從液中拉起時(shí),吸附在晶體上的熔融硅冷卻或固化,依籽晶的晶體結(jié)構(gòu)為樣板循序生長。

因此籽晶是晶錠生長的催生者,且決定晶體的生長方向。因?yàn)樵谯釄鍍?nèi)的籽晶是一邊旋轉(zhuǎn)一邊生長,一邊旋轉(zhuǎn)一邊往前拉,較后生長出來的晶體就是圓柱體,該圓柱體被稱為晶錠。

將晶錠按所需厚度切割即可得到晶圓。


在晶圓的生產(chǎn)過程中,需要將晶圓在不同工作臺中轉(zhuǎn)移,因此需要用到晶圓搬運(yùn)臂。碳纖維是一種較好的晶圓搬運(yùn)臂材料。


上海泰晟碳纖維機(jī)械臂利用特殊的疊層技術(shù),使碳纖維預(yù)浸料形成特殊結(jié)構(gòu)排布,其力學(xué)性能可以通過設(shè)計(jì)進(jìn)行管理和改變,尤其是它在振動管理及精度管理方面具有傳統(tǒng)合金材料不可比擬的優(yōu)勢。計(jì)算機(jī)輔助優(yōu)化的疊層設(shè)計(jì),確保產(chǎn)品的安全性、輕量化,依據(jù)力學(xué)原理在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上采用碳纖維單向預(yù)浸布,進(jìn)行合理裁剪形成 0°、30°、45°、90°等纖維走向,將復(fù)雜的構(gòu)件分解為 每一片層逐一卷制疊成為預(yù)制件;利用碳纖維復(fù)合材料的結(jié)構(gòu)可設(shè)計(jì)性,根據(jù)使用需求及受力分析,設(shè)計(jì)并制備合適形狀的碳纖維機(jī)械手臂結(jié)構(gòu)件。


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