Gigaphoton限時(shí)的eTGM技術(shù)也將擴(kuò)展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。這一擴(kuò)展計(jì)劃將于2015年11月啟動。通過引進(jìn)eTGM技術(shù)，KrF和ArF激光器可減少25%的氖氣用量，ArF浸沒式激光器可減少高達(dá)50%的氖氣用量。加速推出Gigaphoton的氣體回收技術(shù)hTGM。該技術(shù)適用于所有類型的激光器。hTGM預(yù)計(jì)于2016年上市。采用hTGM技術(shù)后，客戶將可以回收高達(dá)50%的消耗氣體。Gigaphoton總裁兼首席執(zhí)行官HitoshiTomaru表示：“氖氣是半導(dǎo)體制造業(yè)不可或缺的氣體，我們認(rèn)識到在當(dāng)前情況下，持續(xù)的供應(yīng)危機(jī)是一個(gè)極為嚴(yán)重的問題，將會嚴(yán)重威脅生產(chǎn)的連續(xù)性。Gigaphoton將盡一切努力來支持客戶的穩(wěn)定生產(chǎn)，為此我們推出了三大措施：為氣體供應(yīng)商提供快速資質(zhì)認(rèn)證、大幅減少氣體使用及盡早推出氣體回收技術(shù)。無腐蝕性，可使用通用材料。廣東普通氖哪家好

氖氣是一種無色、無臭的惰性氣體，具有以下性質(zhì)：1、非常穩(wěn)定：氖氣是一種六原子氣體，具有非常高的穩(wěn)定性，不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。2、低溶解度：氖氣在水中的溶解度非常低，幾乎不與水反應(yīng)。3、高導(dǎo)熱性：氖氣具有很高的導(dǎo)熱性，常用于制冷和冷卻設(shè)備中。4、易受電離：在高電壓下，氖氣可被激發(fā)為氖的等離子體狀態(tài)，發(fā)出紅色橙色的熒光。

氖氣的主要用途包括：1、照明：氖氣***用于制造熒光燈、霓虹燈和放電管等照明設(shè)備，因其發(fā)出明亮的橙紅色熒光而得名。2、氣體激光：氖氣可用于產(chǎn)生氖氣激光器，用于科學(xué)研究、醫(yī)療***和材料加工等領(lǐng)域。3、制冷和冷卻：氖氣具有很高的導(dǎo)熱性，常用于制冷和冷卻系統(tǒng)中，特別是在高溫設(shè)備的散熱方面。 四川液氖廠家價(jià)格為了能夠把大空間抽成真空狀態(tài)，經(jīng)常使用液氦低溫泵，若真空要求不高，也可以采用液氖低溫泵。

    將鋼水采用爐外精煉和真空脫氣處理，采用保護(hù)澆鑄工藝獲得純凈鋼坯，將鋼坯進(jìn)行熱塑性加工、退火、熱碾環(huán)加工成軸承；對上述軸承進(jìn)行熱處理，奧氏體化溫度870℃，保溫80分鐘后油淬，600℃高溫回火。取樣進(jìn)行機(jī)械性能測試，結(jié)果如表2所示：表2.實(shí)施例3將化學(xué)成分(按重量百分比計(jì))為C：、Mn：、Mo：、Cr：、Si：、Al酸溶：、B：、N：、O：、H：、S：、P：，其余為Fe和正常雜質(zhì)的鋼水采用轉(zhuǎn)爐冶煉，將鋼水采用爐外精煉和真空脫氣處理，采用保護(hù)澆鑄工藝獲得純凈鋼坯，將鋼坯進(jìn)行熱塑性加工、退火、熱碾環(huán)加工成軸承；對上述軸承進(jìn)行熱處理，奧氏體化溫度880℃，保溫130分鐘后油淬，650℃高溫回火2h后油冷制室溫。取樣進(jìn)行機(jī)械性能測試，結(jié)果如表3所示：表3.。

主要用于霓虹燈及作為電子工業(yè)的填充介質(zhì)（例如高壓氖燈、計(jì)數(shù)管等）．也用于激光技術(shù)。液氖因具有沸點(diǎn)低等優(yōu)點(diǎn)，可作為26～40K之間的低溫冷源。另外在高能物理方面得到應(yīng)用。例如使用液氖的氣泡室等。還可以氖氧混合氣代替氦氧氣用于呼吸。

本品在高濃度時(shí)，可使空氣中氧分壓降低而有窒息危險(xiǎn)。表現(xiàn)有呼吸加快、注意力不集中、共濟(jì)失調(diào)；繼之出現(xiàn)疲倦乏力、煩躁不安、惡心、嘔吐、昏迷、抽搐，以致死亡。進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)一般不需特殊防護(hù)。但當(dāng)作業(yè)場所空氣中氧氣濃度低于18%時(shí)，必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長管面具。眼睛防護(hù)：一般不需特殊防護(hù)。用6ma鋼瓶或2L玻璃瓶包裝，外用木箱或紙箱保護(hù)。貯存于陰涼、干燥處。以容量不超過2L的玻璃瓶包裝的可按普通貨物運(yùn)輸。裝卸時(shí)要輕拿輕放，防止包裝破損。滅火方法：本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。 電路接通后，氖泡會停止發(fā)熱。

    同時(shí)蒸發(fā)冷凝介質(zhì)以產(chǎn)生由該冷凝介質(zhì)的蒸發(fā)形成的物流；(d)將該含氖排放流引導(dǎo)至回流冷凝器；以及(e)還用經(jīng)過冷液氮流的一部分將來自該含氖排放流的氮?dú)饫淠援a(chǎn)生氮?dú)饫淠锖桶笥诩s50％摩爾份數(shù)的氖氣的粗氖蒸氣流。同時(shí)蒸發(fā)或部分蒸發(fā)該經(jīng)過冷液氮流的該部分以產(chǎn)生由該經(jīng)過冷液氮流的該部分的蒸發(fā)或部分蒸發(fā)形成的第二物流。在利用汽提塔冷凝器的實(shí)施方案中，汽提塔冷凝器可以是集成到利用氮?dú)庾鳛橹吕湓?即，冷凝介質(zhì))的不可冷凝物汽提塔中的回流冷凝器。在此類實(shí)施方案中，冷凝介質(zhì)可包括液氮塔底餾出物的一部分，同時(shí)來自回流冷凝器的汽化流可經(jīng)由氮?dú)庵评鋲嚎s機(jī)再循環(huán)至不可冷凝物汽提塔。另選地，在液氧源用作致冷源(即，冷凝介質(zhì))的情況下，冷凝器可以是熱虹吸式冷凝器或直流冷凝器。在此類實(shí)施方案中，冷凝介質(zhì)可以是來自空氣分離單元的低壓塔的液氧流，同時(shí)來自回流冷凝器的汽化流可被引導(dǎo)回空氣分離單元的低壓塔。在本發(fā)明的一些或所有實(shí)施方案中，經(jīng)過冷液氮回流流可經(jīng)由與空氣分離單元的低壓塔的氮?dú)馑旔s出物的間接換熱而過冷。除了將經(jīng)過冷液氮回流流的一部分引導(dǎo)至回流冷凝器或氖氣質(zhì)量改善裝置之外。在貯運(yùn)過程中應(yīng)輕裝輕卸，嚴(yán)防容器碰損。海南高純氖廠家

氖在常溫常壓下為無色無臭無毒的惰性氣體?？諝庵泻始s18ppm。不燃。廣東普通氖哪家好

    還可將經(jīng)過冷液氮回流流的其他部分作為回流流引導(dǎo)至低壓塔并且/或者將其看作液氮產(chǎn)物流。附圖說明雖然本發(fā)明的結(jié)論是申請人視為他們的發(fā)明內(nèi)容且清楚地指出發(fā)明主題的權(quán)利要求，但相信本發(fā)明在結(jié)合附圖考慮時(shí)將得到更好的理解。其中：圖1是具有本發(fā)明的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的實(shí)施方案的低溫空氣分離單元的局部示意圖；圖2是圖1的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的更詳細(xì)示意圖；圖3是具有不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的另選實(shí)施方案的低溫空氣分離單元的局部示意圖；圖4是圖3的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方案的更詳細(xì)示意圖；圖5是圖3的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的另一實(shí)施方案的更詳細(xì)示意圖；圖6是具有本發(fā)明的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的又一實(shí)施方案的低溫空氣分離單元的局部示意圖；圖7是圖6的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的更詳細(xì)示意圖；并且圖8是圖6的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的更詳細(xì)示意圖。具體實(shí)施方式現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖1、圖3和圖6，示出了通常也稱為空氣分離單元10的低溫空氣分離設(shè)備的簡化例示。從廣義上講，所描繪的空氣分離單元包括主進(jìn)料空氣壓縮機(jī)組20、渦輪空氣回路30、增壓器回路40、主或初級換熱器系統(tǒng)50、基于渦輪的致冷回路60以及蒸餾塔系統(tǒng)70。如本文所用。廣東普通氖哪家好