廣東華芯半導體技術(shù)有限公司2025-05-31
采用四導軌導向 + 滾珠絲杠傳動結(jié)構(gòu),配合阻尼緩沖裝置,升降過程振動幅度≤0.05g。廣東華芯半導體技術(shù)有限公司的設(shè)備在吊籃底部設(shè)置彈性支撐座,進一步吸收機械振動,適合 MEMS 器件等敏感元件的工藝需求。
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