水浸超聲檢測在先進(jìn)封裝中的典型應(yīng)用場景有哪些？

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-07-26

3D堆疊芯片檢測。水浸超聲可穿透多層硅通孔（TSV）結(jié)構(gòu)，檢測層間空洞、金屬化層裂紋等缺陷。例如，在HBM存儲芯片檢測中，通過T掃描重建三維結(jié)構(gòu)，識別TSV內(nèi)部微米級空洞，避免因熱膨脹系數(shù)不匹配導(dǎo)致的失效。

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簡介：杭州芯紀(jì)源成立于 2024 年，融合聲、光及 AI 算法，專注半導(dǎo)體檢測設(shè)備研發(fā)制造，提供超聲檢測。

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