米開(kāi)羅那（上海）工業(yè)智能科技股份有限公司2025-07-24

半導(dǎo)體晶圓清洗對(duì)環(huán)境潔凈度要求極高，手套箱通過(guò)多方面設(shè)計(jì)來(lái)滿足這一需求。首先，手套箱采用304不銹鋼材質(zhì)制作箱體，內(nèi)表面為油膜拉絲面，可減少灰塵附著，外表面顏色可定制。其次，箱體內(nèi)配備了高效的過(guò)濾器，規(guī)格為0.3μm，能有效過(guò)濾空氣中的微小顆粒。在氣體循環(huán)方面，工作氣體在箱體與凈化柱之間密閉循環(huán)，凈化柱吸附水分和氧氣，使箱體內(nèi)水氧含量維持在極低水平（＜1ppm），防止晶圓在清洗過(guò)程中受到氧化和污染。同時(shí)，手套箱的密封性良好，箱體泄漏率＜0.0006vol%/h，可避免外界污染物進(jìn)入，為半導(dǎo)體晶圓清洗提供一個(gè)超凈的環(huán)境，確保清洗效果和晶圓質(zhì)量。

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