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如何判斷固晶機(jī)吸嘴是否磨損?

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佑光智能半導(dǎo)體科技(深圳)有限公司2025-05-30

先觀察外觀,用顯微鏡查看吸嘴孔邊緣是否粗糙、變形或有金屬碎屑附著,孔內(nèi)壁若出現(xiàn)劃痕或缺口則為磨損跡象。接著測(cè)試拾取性能,運(yùn)行拾取程序,若芯片出現(xiàn)偏移、掉落或拾取后傾斜,可能是吸嘴磨損導(dǎo)致真空泄漏。再檢查固晶精度,對(duì)比貼裝位置與標(biāo)準(zhǔn)坐標(biāo),若偏差持續(xù)超過(guò)±3μm且排除其他機(jī)械因素,需懷疑吸嘴問(wèn)題。還可通過(guò)真空壓力表監(jiān)測(cè)吸力,正常運(yùn)行時(shí)壓力穩(wěn)定,若頻繁波動(dòng)或低于額定值(如標(biāo)準(zhǔn)-80kPa降至-60kPa),可能是吸嘴磨損漏氣。此外,若生產(chǎn)良率突然下降且伴隨芯片表面刮傷,需拆解吸嘴進(jìn)一步檢測(cè)。

佑光智能半導(dǎo)體科技(深圳)有限公司
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簡(jiǎn)介:專(zhuān)門(mén)研發(fā)、制造和銷(xiāo)售高精度固晶機(jī)和共晶機(jī),涉及半導(dǎo)體、miniLED、光通訊、光器件和非標(biāo)定制等領(lǐng)域
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