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                             包括被動隔振(橡膠墊、氣浮系統(tǒng))和主動隔振(傳感器+控制器+執(zhí)行器)。被動隔振依賴材料阻尼,主動隔振可實時補償振動,適用于引力波探測等超精密實驗。
                                                                    包括被動隔振(橡膠墊、氣浮系統(tǒng))和主動隔振(傳感器+控制器+執(zhí)行器)。被動隔振依賴材料阻尼,主動隔振可實時補償振動,適用于引力波探測等超精密實驗。
                                                            
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