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臥式爐在處理半導(dǎo)體材料時(shí),如何避免交叉污染?

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賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司2025-04-19

每次處理不同材料或工藝前,對(duì)爐腔、石英舟等進(jìn)行徹底清潔,使用專門清潔劑和無(wú)塵擦拭工具去除殘留雜質(zhì)。采用分區(qū)供氣和單獨(dú)排氣系統(tǒng),不同工藝使用的反應(yīng)氣體管道相互單獨(dú),防止氣體交叉混合。在材料裝載區(qū)域設(shè)置潔凈隔離空間,避免外界污染物接觸待處理材料,從多個(gè)環(huán)節(jié)杜絕交叉污染。

賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司
賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司
簡(jiǎn)介:賽瑞達(dá)成立于2021年,專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
簡(jiǎn)介: 賽瑞達(dá)成立于2021年,專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
賽瑞達(dá)致力于成為半導(dǎo)體裝備的主導(dǎo)品牌。
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