唯恒塬環(huán)?？萍迹ㄌK州）有限公司2025-06-29

必須使用超高純度碳?xì)淙軇?，避免引入雜質(zhì)污染晶圓。清洗過程在超凈無塵環(huán)境中進(jìn)行，設(shè)備具備嚴(yán)格的潔凈度控制和監(jiān)測系統(tǒng)。采用溫和的清洗工藝，防止損傷晶圓表面的納米級結(jié)構(gòu)，清洗后需進(jìn)行嚴(yán)格的顆粒和離子檢測。

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