本發(fā)明的實施例總體涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地，涉及集成電路及其形成方法。背景技術(shù)：許多現(xiàn)代電子器件包含配置為存儲數(shù)據(jù)的電子存儲器。電子存儲器可以是易失性存儲器或非易失性存儲器。易失性存儲器在上電時存儲數(shù)據(jù)，而非易失性存儲器能夠在斷開電源時存儲數(shù)據(jù)。磁阻式隨機存取存儲器(mram)是用于下一代非易失性存儲器技術(shù)的一種有前景的候選。技術(shù)實現(xiàn)要素：根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種集成芯片，包括：工作磁隧道結(jié)(mtj)器件，連接至位線，其中，所述工作磁隧道結(jié)器件被配置為存儲數(shù)據(jù)狀態(tài)；以及調(diào)節(jié)訪問裝置，連接在所述工作磁隧道結(jié)器件和字線之間，其中，所述調(diào)節(jié)訪問裝置包括被配置為控制提供給所述工作磁隧道結(jié)器件的電流的一個或多個調(diào)節(jié)磁隧道結(jié)器件。根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種集成電路，包括：互連層，布置在襯底上方的介電結(jié)構(gòu)內(nèi)，其中，所述互連層通過所述介電結(jié)構(gòu)與所述襯底分隔開；以及工作mtj器件，布置在所述互連層正上方并且被配置為存儲數(shù)據(jù)狀態(tài)，其中，所述工作mtj器件通過包括多個互連層且不延伸穿過所述襯底的連續(xù)導(dǎo)電路徑電連接在位線和字線之間。根據(jù)本發(fā)明的又一個方面，提供了一種形成集成電路的方法。上海海谷電子有限公司為您提供回收，有想法的可以來電咨詢！江蘇電子料上門回收網(wǎng)

在一些實施例中，每個單元線路結(jié)構(gòu)的四條柵極線通過例如sadp形成，并且每個單元線路結(jié)構(gòu)的四條柵極線在方向上布置成交替地具有柵極節(jié)距和第二柵極節(jié)距。通常，在一些實施例中，作為另一示例，每個單元線路結(jié)構(gòu)的四條柵極線通過例如自對準(zhǔn)四倍圖案化(saqp)形成，并且每個單元線路結(jié)構(gòu)的四條柵極線在方向上布置成順序地具有柵極節(jié)距、第二柵極節(jié)距、柵極節(jié)距和第三柵極節(jié)距。在一些實施例中，每個單元線路結(jié)構(gòu)包括十二條金屬線和八條柵極線。此外，在一些實施例中，每個單元線路結(jié)構(gòu)的十二條金屬線通過自對準(zhǔn)四倍圖案化(saqp)形成，并且每個單元線路結(jié)構(gòu)的十二條金屬線在方向上布置成順序地且重復(fù)地具有金屬節(jié)距、第二金屬節(jié)距、金屬節(jié)距和第三金屬節(jié)距。此外，在一些實施例中，每個單元線路結(jié)構(gòu)的八條柵極線通過單圖案化形成，并且每個單元線路結(jié)構(gòu)的八條柵極線在方向上布置成具有相等的柵極節(jié)距。在一些實施例中，每個單元線路結(jié)構(gòu)包括十二條金屬線和八條柵極線，每個單元線路結(jié)構(gòu)的十二條金屬線通過自對準(zhǔn)四倍圖案化(saqp)形成，并且每個單元線路結(jié)構(gòu)的十二條金屬線在方向上布置成順序地且重復(fù)地具有金屬節(jié)距、第二金屬節(jié)距、金屬節(jié)距和第三金屬節(jié)距。此外，例如。遼寧二極管回收聯(lián)系方式上海海谷電子有限公司致力于提供回收，有想法的可以來電咨詢！

調(diào)節(jié)mtj器件、第二調(diào)節(jié)mtj器件和工作mtj器件106分別包括mtj，mtj具有通過介電遂穿阻擋層與自由層分隔開的固定層。在一些實施例中，固定層110可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)、鎳(ni)、釕(ru)、銥(ir)、鉑(pt)等。在一些實施例中，介電遂穿阻擋層可以包括氧化鎂(mgo)、氧化鋁(al2o3)等。在一些實施例中，自由層可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)等。在其它實施例中，調(diào)節(jié)訪問裝置108可以包括一個或多個電阻器(例如，包括氮化鉭、鉭、氮化鈦、鈦、鎢等的薄膜電阻器)。例如，在一些實施例中，調(diào)節(jié)訪問裝置108可以包括與工作mtj器件106并聯(lián)連接的薄膜電阻器和第二薄膜電阻器。在各個實施例中，調(diào)節(jié)訪問裝置108可以包括具有基本類似的尺寸或具有不同的尺寸的電阻器。存儲器陣列102通過多條位線bl1至bl2和多條字線wl1至wl2連接至控制電路115。在一些實施例中，控制電路115包括連接至多條位線bl1至bl2的位線解碼器116和連接至多條字線wl1至wl2的字線解碼器118。調(diào)節(jié)訪問裝置108連接在字線wlx(x＝1或2)和工作mtj器件106之間，而工作mtj器件106連接在調(diào)節(jié)訪問裝置108和位線bly(y＝1或2)之間。為了訪問工作mtj器件106。

與集成電路204熱耦聯(lián)的第二熱接口材料層206；以及與第二熱接口材料層206熱耦聯(lián)的能夠移除的散熱器208，所述散熱器208具有越過印刷電路板202的與連接側(cè)304相對的側(cè)延伸的頂表面302。在906處，將兩個印刷電路裝配件相對地放置在一起，使得所述印刷電路裝配件400中的每個印刷電路裝配件上的散熱器208的頂表面302與另一個印刷電路裝配件400上的熱接口材料層408接觸，并且與該熱接口材料層408熱耦聯(lián)。在908處，流程900包括將每個冷卻管406的端部耦聯(lián)至分流管606a，以及將每個冷卻管406的第二端部耦聯(lián)至第二分流管606b。在910處，流程900包括將泵110、熱交換器112和儲液器114與分流管606a和第二分流管606b流體流通地耦聯(lián)。流程900包括操作泵110以將液體傳送通過各冷卻管406。如本文所使用的，術(shù)語“或”可以解釋為包含性或排除性的意義兩者。此外，以單數(shù)形式對資源、操作或結(jié)構(gòu)的描述不應(yīng)解讀為排除復(fù)數(shù)形式。其中，諸如“能夠”、“可以”、“可能”、或“可”的條件語句，除非另有明確說明，或在所使用的上下文中另有理解，一般旨在傳達(dá)某些實施例包含特定特征、元素和/或步驟，而其他實施例不包含這些特定特征、元素和/或步驟。除非另有特別說明。回收，就選上海海谷電子有限公司，用戶的信賴之選，有需要可以聯(lián)系我司哦！

每個單元線路結(jié)構(gòu)的六條列金屬線ml1至ml6可以在方向x上布置成交替地具有金屬節(jié)距pm11和第二金屬節(jié)距pm12。金屬節(jié)距pm11和第二金屬節(jié)距pm12可以由表達(dá)式1表示。表達(dá)式1pm11＝wdm+wmlpm12＝pdm-(wdm+wml)在表達(dá)式1中，wdm表示雙倍心軸圖案dpm1、dpm2和dpm3的寬度，wml表示列金屬線ml1至ml6的寬度。在形成列金屬線ml1至ml6之前，可以在列導(dǎo)電層ccl下方的柵極層gtl中形成針對每個單元線路結(jié)構(gòu)的四條柵極線gl1至gl4。參照圖5，每個單元線路結(jié)構(gòu)uws1的四條柵極線gl1至gl4可以通過單圖案化形成。在這種情況下，每個單元線路結(jié)構(gòu)uws1的四條柵極線gl1至gl4可以在方向x上布置成具有相等的柵極節(jié)距pg1。柵極節(jié)距pg1可以等于通過曝光工藝形成的抗蝕劑圖案的節(jié)距。圖5示出了均具有相同的布圖或相同的形貌(topography)的兩個單元線路結(jié)構(gòu)：左側(cè)的一個被標(biāo)識為uws1，在x軸上向右側(cè)移位的一個也被標(biāo)識為uws1。圖5的左側(cè)的uws1內(nèi)的空間關(guān)系與右側(cè)的uws1內(nèi)的空間關(guān)系相同?？臻g關(guān)系包括gtl中的gl1、gl2、gl3、gl4之間的節(jié)距以及ccl中的ml1、ml2、ml3、ml4、ml5、ml6之間的節(jié)距還有ccl和gtl中的特征之間的相對節(jié)距。圖5表示其中存在6n條金屬線和4n條柵極線的通常示例。回收，就選上海海谷電子有限公司，用戶的信賴之選。湖南電子料高價回收價格

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四倍心軸圖案qpm1、qpm2和qmp3可以布置為在方向x上具有相同的四倍心軸節(jié)距pqm，四倍心軸節(jié)距pqm可以與抗蝕劑圖案的節(jié)距相同。針對單元線路結(jié)構(gòu)uws4、uws5和uws6中每個，可以使用三個四倍心軸圖案qpm1、qpm2和qpm3在列導(dǎo)電層ccl中形成十二條列金屬線ml1至ml12。每個單元線路結(jié)構(gòu)的十二條列金屬線ml1至ml12可以在方向x上布置成順序地且重復(fù)地具有金屬節(jié)距pm21、第二金屬節(jié)距pm22、金屬節(jié)距pm21和第三金屬節(jié)距pm23。金屬節(jié)距pm21、第二金屬節(jié)距pm22和第三金屬節(jié)距pm23可以由表達(dá)式4表示。表達(dá)式4pm21＝wdm+wmlpm22＝wqm-wmlpm23＝pqm-(wqm+2wdm+wml)在表達(dá)式4中，wdm表示雙倍心軸圖案dpm1至dpm6的寬度，wqm表示四倍心軸圖案qpm1、qpm2和qpm3的寬度，wml表示列金屬線ml1至ml12的寬度。在形成列金屬線ml1至ml12之前，可以在列導(dǎo)電層ccl下方的柵極層gtl中形成針對每個單元線路結(jié)構(gòu)的八條柵極線gl1至gl8。參照圖8，每個單元線路結(jié)構(gòu)uws4的八條柵極線gl1至gl8可以通過單圖案化形成。在這種情況下，每個單元線路結(jié)構(gòu)uws4的八條柵極線gl1至gl8可以在方向x上布置成具有相等的柵極節(jié)距pg2。柵極節(jié)距pg2可以等于通過曝光工藝形成的抗蝕劑圖案的節(jié)距。參照圖9。江蘇電子料上門回收網(wǎng)

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