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臺(tái)州自動(dòng)真空灌膠機(jī)銷售

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-03-30

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真空灌膠機(jī)以 - 99kPa 真空 + 壓力閉環(huán)控制,將 12 英寸晶圓的封裝翹曲量控制在 ±15μm(行業(yè) ±30μm)。設(shè)備采用 "真空 - 靜壓" 雙重工藝:灌膠時(shí)維持真空消除氣泡,同時(shí)施加 0.05MPa 靜壓抵消固化收縮,使 8μm 超薄芯片的應(yīng)力集中降低 72%。某 5G 射頻芯片實(shí)測(cè)顯示,經(jīng)真空灌膠的晶圓級(jí)封裝,在 260℃回流焊后翹曲* 8μm,良率從 82% 提升至 94%,單片 wafer 節(jié)約成本超 2 萬(wàn)元。其**的 "邊緣真空補(bǔ)償" 技術(shù),通過(guò) 12 組微型真空泵實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)晶圓邊緣壓力,解決傳統(tǒng)灌膠的 "邊緣凹陷" 難題 —— 這在某客戶的指紋芯片產(chǎn)線中,將封裝后玻璃蓋板的貼合良率從 89% 提升至 98.7%。2025 年,該設(shè)備已通過(guò) SEMI G52 認(rèn)證,其真空灌膠工藝被應(yīng)用于 3D 封裝的 TSV 孔填充,在 0.5mm 深孔中實(shí)現(xiàn) 100% 無(wú)空洞,助力蘇州半導(dǎo)體封裝技術(shù)邁向 2.5D/3D 時(shí)代。

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