真空機(jī)中真空處理設(shè)備技術(shù)方案【產(chǎn)品定位】

本設(shè)備是針對盲孔類工件電鍍及前處理工藝研發(fā)的專業(yè)真空處理系統(tǒng)，適用于半導(dǎo)體、精密電子、航空航天等領(lǐng)域的復(fù)雜結(jié)構(gòu)工件處理。

【功能】

1.真空置換系統(tǒng)：采用旋片式真空泵組，可在60秒內(nèi)將工作腔壓力降至10mbar以下，通過動態(tài)真空置換技術(shù)實現(xiàn)盲孔內(nèi)空氣的高效抽離

2.智能補(bǔ)液系統(tǒng)：配備流量閉環(huán)控制系統(tǒng)，可根據(jù)工件孔徑自動調(diào)節(jié)藥液填充速率，確保微孔填充率≥99.8%

3.工藝可視化：配置5.7英寸工業(yè)級觸控屏，實時顯示真空度、液位高度、處理時間等關(guān)鍵參數(shù)

【技術(shù)優(yōu)勢】

1.采用304不銹鋼內(nèi)膽+高硼硅玻璃視窗組合，耐酸堿腐蝕且便于觀察

2.可調(diào)式硅橡膠密封條配合氣壓補(bǔ)償裝置，確保真空度穩(wěn)定維持在±0.5mbar

3.模塊化設(shè)計支持單工位/雙工位/多工位擴(kuò)展，處理效率提升40%以上

【應(yīng)用價值】

通過建立可控的負(fù)壓環(huán)境，有效解決盲孔類工件因氣穴導(dǎo)致的漏鍍、膜厚不均等問題，使鍍層均勻性提升至±5μm以內(nèi)，降低不良品率。設(shè)備符合ISO9001質(zhì)量管理體系及CE安全認(rèn)證，已成功應(yīng)用于100+客戶的量產(chǎn)線，平均提升良品率25%，降低生產(chǎn)成本18%。 通過 CE 安全認(rèn)證，配備雙重聯(lián)鎖保護(hù)裝置，防止誤操作引發(fā)的安全事故。江蘇模塊化真空機(jī)

真空除油設(shè)備的定義

一、基本概念

1.通過真空泵將設(shè)備內(nèi)部氣壓降至常壓以下（通常-0.08~-0.1MPa），形成負(fù)壓環(huán)境。

2.利用真空狀態(tài)下液體沸點降低、滲透力增強(qiáng)的特性，實現(xiàn)深度除油。

二、負(fù)壓技術(shù)的作用

1.強(qiáng)化滲透：負(fù)壓使液體快速填充盲孔，排出空氣并沖刷油污。

2.微氣泡清洗：液體沸騰產(chǎn)生的微氣泡破裂時釋放能量，剝離頑固附著物。

3.低溫干燥：真空環(huán)境下液體蒸發(fā)速度提升5~10倍，避免高溫?fù)p傷基材。

三、部件

真空罐體：密閉容器，承載工件并維持負(fù)壓。

真空泵組：多級羅茨泵+旋片泵組合，快速抽氣并維持真空度。

加熱系統(tǒng)：控制液體溫度（通常40~60℃）。

超聲波發(fā)生器（可選）：增強(qiáng)空化效應(yīng)，提升清洗效率。 湖南真空機(jī)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)傳統(tǒng)工藝成本 25%，負(fù)壓電鍍省到底！

志成達(dá)研發(fā)的真空機(jī)，真空除油設(shè)備通過引入微波加熱輔助技術(shù)

可在10-15秒內(nèi)將頑固油污分子鏈斷裂，配合真空環(huán)境下的分子擴(kuò)散效應(yīng)，實現(xiàn)金屬加工件表面油膜殘留量低于0.05μm，特別適用于精密齒輪、軸承等動密封部件的超凈處理。在半導(dǎo)體晶圓制造領(lǐng)域，真空除油設(shè)備采用兆聲波（1-3MHz）空化效應(yīng)與真空干燥相結(jié)合的工藝，可去除直徑小于50nm的納米級油污顆粒，同時通過靜電消除裝置防止二次污染，滿足12英寸晶圓對潔凈度的苛刻要求。真空除油設(shè)備創(chuàng)新應(yīng)用膜分離技術(shù)，將溶劑回收系統(tǒng)與真空蒸餾單元集成，實現(xiàn)每小時處理2000L混合油污的能力，其分離純度可達(dá)99.9%，為PCB線路板、光學(xué)玻璃等行業(yè)提供經(jīng)濟(jì)高效的油污處理方案。

真空機(jī)中脈沖真空技術(shù)的原理

通過周期性壓力波動突破傳統(tǒng)靜態(tài)真空處理的局限性，其工作原理可拆解為以下機(jī)制：

一、壓力脈沖生成機(jī)制

1.動態(tài)真空調(diào)控

采用伺服真空泵組與快速響應(yīng)閥門，在基礎(chǔ)真空度（如10?1Pa）與脈沖峰值（10~100Pa）間循環(huán)切換，形成0.1~5Hz的壓力波動。壓力振幅可達(dá)基礎(chǔ)真空度的100倍，產(chǎn)生局部壓力梯度差（ΔP=10?1~102Pa）。

2.脈沖波形控制

二、技術(shù)優(yōu)勢對比

指標(biāo)                            傳統(tǒng)真空                          脈沖真空                  提升幅度           

盲孔除油率                  60%~75%                      92%~98%              +53%~+143%

處理時間                      20~30分鐘                      15~20分鐘              -25%~-33%                                          能耗                           1.2~1.5kWh/kg                   1.0~1.2kWh/kg       -17%~-20% 真空除油設(shè)備通過真空負(fù)壓環(huán)境，將盲孔內(nèi)殘留油污分子級剝離，解決傳統(tǒng)浸泡無法觸及的深層清潔難題。

真空除油設(shè)備特殊工況應(yīng)用型

深海裝備真空除油解決方案

1.針對深海探測器部件的嚴(yán)苛工況，設(shè)備采用三重特殊設(shè)計：

2.耐壓結(jié)構(gòu)：采用鈦合金腔體，可承受60MPa外部壓力，內(nèi)部維持-95kPa真空環(huán)境；

3.低溫處理：配置液氮預(yù)冷系統(tǒng)，將油液溫度降至-20℃，使蠟質(zhì)污染物結(jié)晶析出；

4.脈動清洗：結(jié)合超聲波振動與脈沖壓力，深海礦物油形成的納米級油膜。

傳統(tǒng)工藝vs真空除油技術(shù)對比

工藝類型           工作原理                           優(yōu)勢局限                        局限

離心分離          利用離心力分離油水           設(shè)備成本低                     脫水效率<75%

化學(xué)清洗         添加破乳劑，分離雜質(zhì)          初期效果                       產(chǎn)生大量?；?nbsp;              

真空除油        真空環(huán)境下低溫蒸發(fā)           深度凈化+環(huán)保設(shè)備              投資較高 真空負(fù)壓 + 動態(tài)壓力，盲孔鍍層 0 微孔缺陷！湖南真空機(jī)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

設(shè)備配備精密壓力傳感器，實時監(jiān)測盲孔內(nèi)部壓力變化，確保清洗過程安全可控。江蘇模塊化真空機(jī)

真空除油設(shè)備負(fù)壓技術(shù)的工作流程

該技術(shù)通過六階段閉環(huán)系統(tǒng)實現(xiàn)高效除油：

1.預(yù)處理：工件置于可旋轉(zhuǎn)支架，采用氮氣密封艙體至10?3Pa級氣密性。

2.抽真空：多級泵組3-5分鐘內(nèi)將壓力降至100Pa，主泵進(jìn)一步達(dá)10?1Pa以下，同步預(yù)加熱至30-80℃。

3.負(fù)壓蒸發(fā)：紅外加熱結(jié)合循環(huán)氣流，礦物油在0.09MPa下沸點降至80℃，薄油膜5-10分鐘完成蒸發(fā)。

4.冷凝回收：-20℃半導(dǎo)體制冷片實現(xiàn)99%油蒸氣回收，分離凈化后循環(huán)使用。

5.干燥破空：真空干燥至-40℃，充入-60℃氮氣并設(shè)氣流屏障防污染。

6.后處理：激光測厚檢測油膜厚度，集成MES系統(tǒng)自動匹配參數(shù)，預(yù)測性維護(hù)周期超5000小時。 江蘇模塊化真空機(jī)